Продукты

Плоские листовые мембраны Semicorex SiC, изготовленные из порошка SiC высокой чистоты путем высокотемпературного спекания, представляют собой фильтрующие элементы премиум-класса, представляющие собой неорганические керамические мембраны высшего класса. Плоские мембраны Semicorex SiC, обладающие высоким потоком, коррозионной стойкостью, легкостью очистки, эффективной фильтрацией и длительным сроком службы, идеально подходят для применения в системах MBR.

Трехкомпонентные графитовые тигли Semicorex представляют собой высокопроизводительные контейнеры из разделенного графита, специально разработанные для процессов выращивания монокристаллического кремния. Трехкомпонентный графитовый тигель Semicorex идеально подходит для высококачественной термической обработки полупроводников и может надежно поддерживать кварцевый тигель и его внутренние материалы для достижения контролируемого роста монокристаллических структур.

Печные трубы Semicorex из карбида кремния — это высокопроизводительные компоненты SiC, специально разработанные для высокотемпературных процессов в передовой полупроводниковой промышленности. Благодаря своим исключительным характеристикам печные трубы Semicorex из карбида кремния могут выдерживать суровые условия эксплуатации с экстремальными температурами, агрессивными газами и резкими температурными колебаниями.

Пластинчатые лодочки Semicorex CVD с SiC-покрытием представляют собой высокоточные керамические несущие инструменты из карбида кремния сверхвысокой чистоты, отличающиеся высокой надежностью, превосходной чистотой и увеличенным сроком службы. Являясь идеальным решением для термической обработки пластин, лодочки для пластин Semicorex с CVD-покрытием SiC позволяют обеспечить безопасное и стабильное позиционирование пластин на этапах транспортировки и обработки.

Заземляющее кольцо верхнего электрода Semicorex — это компонент управления плазмой CVD SiC сверхвысокой чистоты, который стабилизирует электрический потенциал и поддерживает равномерное распределение плазмы в современных системах травления и осаждения полупроводников. Компания Semicorex поставляет прецизионные заземляющие кольца CVD SiC и полупроводниковые компоненты, работающие с плазмой, по всему миру, предлагая индивидуальные размеры, электрические свойства и надежную доставку по всему миру для ведущих производителей полупроводникового оборудования.*

Semicorex Etching Edge Ring — это компонент CVD SiC высокой чистоты, обращенный к плазме, который контролирует распределение плазмы по краю пластины, улучшая однородность травления, точность процесса и общую производительность производства полупроводников. Компания Semicorex поставляет передовые фокусирующие кольца CVD SiC, заземляющие кольца, душевые насадки и индивидуальные компоненты управления плазмой производителям полупроводников по всему миру при поддержке точного проектирования и надежных поставок по всему миру.*