Продукты

Трехкомпонентные графитовые тигли Semicorex представляют собой высокопроизводительные контейнеры из разделенного графита, специально разработанные для процессов выращивания монокристаллического кремния. Трехкомпонентный графитовый тигель Semicorex идеально подходит для высококачественной термической обработки полупроводников и может надежно поддерживать кварцевый тигель и его внутренние материалы для достижения контролируемого роста монокристаллических структур.

Печные трубы Semicorex из карбида кремния — это высокопроизводительные компоненты SiC, специально разработанные для высокотемпературных процессов в передовой полупроводниковой промышленности. Благодаря своим исключительным характеристикам печные трубы Semicorex из карбида кремния могут выдерживать суровые условия эксплуатации с экстремальными температурами, агрессивными газами и резкими температурными колебаниями.

Пластинчатые лодочки Semicorex CVD с SiC-покрытием представляют собой высокоточные керамические несущие инструменты из карбида кремния сверхвысокой чистоты, отличающиеся высокой надежностью, превосходной чистотой и увеличенным сроком службы. Являясь идеальным решением для термической обработки пластин, лодочки для пластин Semicorex с CVD-покрытием SiC позволяют обеспечить безопасное и стабильное позиционирование пластин на этапах транспортировки и обработки.

Заземляющее кольцо верхнего электрода Semicorex — это компонент управления плазмой CVD SiC сверхвысокой чистоты, который стабилизирует электрический потенциал и поддерживает равномерное распределение плазмы в современных системах травления и осаждения полупроводников. Компания Semicorex поставляет прецизионные заземляющие кольца CVD SiC и полупроводниковые компоненты, работающие с плазмой, по всему миру, предлагая индивидуальные размеры, электрические свойства и надежную доставку по всему миру для ведущих производителей полупроводникового оборудования.*

Semicorex Etching Edge Ring — это компонент CVD SiC высокой чистоты, обращенный к плазме, который контролирует распределение плазмы по краю пластины, улучшая однородность травления, точность процесса и общую производительность производства полупроводников. Компания Semicorex поставляет передовые фокусирующие кольца CVD SiC, заземляющие кольца, душевые насадки и индивидуальные компоненты управления плазмой производителям полупроводников по всему миру при поддержке точного проектирования и надежных поставок по всему миру.*

Резервуары для очистки кварцевых пластин Semicorex, изготовленные из кварцевых материалов высокой чистоты, являются незаменимыми компонентами, специально разработанными для влажной очистки пластин в высокотехнологичном производстве полупроводников. Являясь ведущей китайской компанией в отрасли, Semicorex стремится предоставлять клиентам стабильно работающие и экономичные кварцевые решения.