Вафельные лодочки с CVD-покрытием SiC

При высокоточной обработке пластин лодочки для пластин с CVD-покрытием SiC, несущие партии пластин, проходят ряд процессов термической обработки, таких как диффузия, окисление, отжиг и химическое осаждение из паровой фазы. Они могут равномерно и стабильно удерживать пластины во время этих процессов и обеспечивать равномерную реакцию технологических газов с пластинами, обеспечивая тем самым постоянство и стабильность результатов обработки.

1. Выбор сырья премиум-класса.

Semicorex производитCVD-карбид кремния-покрытие пластинчатых лодочек с использованием карбида кремния полупроводникового класса и нанесение на их поверхность CVD-покрытия сверхвысокой чистоты, что позволяет пластинчатым лодочкам исключительно хорошо работать в строгих процедурах обработки полупроводников:

А. Сверхвысокая чистота

Содержание примесей в основном материале пластинчатых лодочек составляет менее 100 ppm, а в CVD-покрытии SiC - даже менее 1 ppm.

Б. Превосходное термическое сопротивление

Вафельные лодочки Semicorex CVD с SiC-покрытием могут стабильно работать при высоких температурах 1250 ℃ без какой-либо деформации, ползучести или разрушения.

C. Надежная коррозионная стойкость

Обладая высокой химической стабильностью, вафельные лодочки Semicorex CVD с SiC-покрытием могут стабильно работать в течение длительного времени в окислительных и восстановительных газовых средах.

D. Отличная механическая прочность

СемикорексВафельные лодочки с CVD-покрытием SiCмогут эффективно предотвращать истирание и царапины во время частых операций втягивания и вытягивания благодаря своей стабильной механической прочности.

2. Хорошо налаженная производственная мощность.

Компания Semicorex, специализирующаяся на прецизионных керамических решениях для полупроводниковых применений, располагает опытной технической командой и современным технологическим оборудованием. Выдающиеся производственные мощности Semicorex подробно описаны следующим образом:

А. Гибкая услуга настройки

Вафельные лодочки Semicorex с CVD-покрытием SiC формируются с помощью технологии 3D-печати, и их структура, размеры, расстояние между пазами, глубина, форма и другие требования могут быть изменены по индивидуальному заказу.

Б. Точный контроль размеров

Компания Semicorex осуществляет жесткий контроль над точностью размеров подложек с CVD-покрытием SiC, используя передовые технологии обработки и оборудование, гарантирующие идеальный контакт пластины и стабильное обращение во время работы.

C. Высокая эффективность производства

Еще одним выдающимся производственным потенциалом Semicorex является короткий производственный цикл. Для небольших вафельных корабликов время выполнения заказа составляет 35 дней, что значительно сокращает период ожидания клиентов.