Как профессиональный производитель, мы хотели бы предоставить вам полупроводниковые компоненты. Semicorex — ваш партнер в улучшении обработки полупроводников. Наши покрытия из карбида кремния плотные, высокотемпературные и химически стойкие, они часто используются во всем цикле производства полупроводников, включая полупроводниковые пластины и их обработку, а также производство полупроводников.
Компоненты с покрытием SiC высокой чистоты имеют решающее значение для процессов в полупроводнике. Наше предложение варьируется от графитовых расходных материалов для горячих зон выращивания кристаллов (нагреватели, тигельные токоприемники, изоляция) до высокоточных графитовых компонентов для оборудования для обработки пластин, таких как графитовые токоприемники с покрытием из карбида кремния для эпитаксии или MOCVD.
Преимущества полупроводниковых процессов
Этапы осаждения тонкой пленки, такие как эпитаксия или MOCVD, или обработка пластин, такая как травление или ионная имплантация, должны выдерживать высокие температуры и жесткую химическую очистку. Semicorex поставляет графитовую конструкцию с покрытием из высокочистого карбида кремния (SiC), обеспечивающую превосходную термостойкость и длительную химическую стойкость, равномерную термическую однородность для постоянной толщины эпитаксиального слоя и стойкости.
Крышки камеры -
Крышки камер, используемые при выращивании кристаллов и обработке пластин, должны выдерживать высокие температуры и жесткую химическую очистку.
Конечный эффектор
Конечный эффектор — это рука робота, которая перемещает полупроводниковые пластины между позициями в оборудовании для обработки пластин и носителями.
Впускные кольца
Впускное кольцо для газа с покрытием SiC, полученное на оборудовании MOCVD. Соединение обладает высокой термостойкостью и коррозионной стойкостью, что обеспечивает высокую стабильность в экстремальных условиях.
Кольцо фокусировки
Semicorex поставляет фокусировочное кольцо с покрытием из карбида кремния, которое действительно устойчиво к RTA, RTP или жесткой химической очистке.
Вафельный патрон -
Ультраплоские керамические вакуумные держатели для пластин Semicorex имеют покрытие из карбида кремния высокой чистоты, используемое в процессе обработки пластин.
Запасные части Semicorex для эпитаксиального выращивания являются важнейшими компонентами, используемыми в системах эпитаксиального выращивания, особенно в процессах, включающих установки с кварцевыми трубками. Эти детали играют жизненно важную роль в обеспечении потока газа, приводящего в движение основание лотка, и обеспечивают точный контроль температуры на протяжении всего процесса эпитаксиального роста. Semicorex стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросРука для переноса полупроводниковых пластин Semicorex SiC является краеугольным камнем автоматизации процесса производства полупроводников, выступая в качестве сложного роботизированного инструмента для точной и эффективной обработки полупроводниковых пластин. Semicorex стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросSemicorex SiC Finger выступает в качестве важнейшего компонента в процессе обработки полупроводников и служит инструментом для переноса пластин. Это специализированное устройство, напоминающее по форме палец, тщательно изготовлено из карбида кремния (SiC), материала, известного своей исключительной механической прочностью, термической стабильностью и устойчивостью к агрессивным химическим средам. Semicorex стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросТехнологическая трубка из карбида кремния Semicorex является важнейшим компонентом в сфере производства полупроводников, специально разработанным для использования в вертикальных печах, используемых в различных приложениях обработки полупроводников, таких как RTP, диффузия. Semicorex стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросРоботизированная рука Semicorex, ключевой компонент печи для химического осаждения металлов и органических соединений (MOCVD), является свидетельством точного машиностроения и передовых материаловедческих исследований. Semicorex стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросОткройте для себя воплощение производительности и долговечности в области полупроводникового оборудования с помощью нашей ультрасовременной крышки из графита с покрытием SiC. Этот дискообразный компонент специально разработан для различных полупроводниковых применений и предлагает уникальное сочетание покрытия из графита и карбида кремния (SiC) для повышения функциональности и эффективности. Semicorex стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запрос