Как профессиональный производитель, мы хотели бы предоставить вам полупроводниковые компоненты. Semicorex — ваш партнер в улучшении обработки полупроводников. Наши покрытия из карбида кремния плотные, высокотемпературные и химически стойкие, они часто используются во всем цикле производства полупроводников, включая полупроводниковые пластины и их обработку, а также производство полупроводников.
Компоненты с покрытием SiC высокой чистоты имеют решающее значение для процессов в полупроводнике. Наше предложение варьируется от графитовых расходных материалов для горячих зон выращивания кристаллов (нагреватели, тигельные токоприемники, изоляция) до высокоточных графитовых компонентов для оборудования для обработки пластин, таких как графитовые токоприемники с покрытием из карбида кремния для эпитаксии или MOCVD.
Преимущества полупроводниковых процессов
Этапы осаждения тонкой пленки, такие как эпитаксия или MOCVD, или обработка пластин, такая как травление или ионная имплантация, должны выдерживать высокие температуры и жесткую химическую очистку. Semicorex поставляет графитовую конструкцию с покрытием из высокочистого карбида кремния (SiC), обеспечивающую превосходную термостойкость и длительную химическую стойкость, равномерную термическую однородность для постоянной толщины эпитаксиального слоя и стойкости.
Крышки камеры -
Крышки камер, используемые при выращивании кристаллов и обработке пластин, должны выдерживать высокие температуры и жесткую химическую очистку.
Конечный эффектор
Конечный эффектор — это рука робота, которая перемещает полупроводниковые пластины между позициями в оборудовании для обработки пластин и носителями.
Впускные кольца
Впускное кольцо для газа с покрытием SiC, полученное на оборудовании MOCVD. Соединение обладает высокой термостойкостью и коррозионной стойкостью, что обеспечивает высокую стабильность в экстремальных условиях.
Кольцо фокусировки
Semicorex поставляет фокусировочное кольцо с покрытием из карбида кремния, которое действительно устойчиво к RTA, RTP или жесткой химической очистке.
Вафельный патрон -
Ультраплоские керамические вакуумные держатели для пластин Semicorex имеют покрытие из карбида кремния высокой чистоты, используемое в процессе обработки пластин.
Представляем руку для переноса вафель, разработанную и изготовленную нашей командой экспертов в Китае. Этот продукт специально разработан для обеспечения безопасного и эффективного переноса вафель из одного места в другое без повреждения деликатной поверхности.
Читать далееОтправить запросУсовершенствованные компоненты Semicorex с покрытием из карбида кремния высокой чистоты созданы для того, чтобы выдерживать экстремальные условия в процессе обработки пластин. Наш полупроводниковый вафельный патрон имеет хорошее ценовое преимущество и охватывает многие европейские и американские рынки. Мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросСверхчистые керамические компоненты Semicorex, идеально подходящие для литографии нового поколения и работы с пластинами, обеспечивают минимальное загрязнение и исключительно долгий срок службы. Наш вакуумный патрон для вафель имеет хорошее ценовое преимущество и охватывает многие европейские и американские рынки. Мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросПрочные фокусировочные кольца Semicorex для обработки полупроводников спроектированы так, чтобы выдерживать экстремальные условия камер плазменного травления, используемых при обработке полупроводников. Наши кольца фокусировки изготовлены из графита высокой чистоты с плотным износостойким покрытием из карбида кремния (SiC). Покрытие SiC обладает высокими антикоррозионными и термостойкими свойствами, а также отличной теплопроводностью. Мы наносим SiC тонкими слоями на графит, используя процесс химического осаждения из паровой фазы (CVD), чтобы увеличить срок службы наших колец фокусировки.
Читать далееОтправить запросКольцо фокусировки Semicorex для плазменной обработки специально разработано для удовлетворения высоких требований плазменного травления в полупроводниковой промышленности. Наши усовершенствованные компоненты с покрытием из карбида кремния высокой чистоты рассчитаны на работу в экстремальных условиях и подходят для использования в различных приложениях, включая слои карбида кремния и эпитаксиальные полупроводники.
Читать далееОтправить запросУсовершенствованные кольца фокусировки Semicorex из карбида кремния высокой чистоты созданы для работы в экстремальных условиях в камерах плазменного травления (или сухого травления). Мы ориентируемся на полупроводниковые отрасли, такие как слои карбида кремния и эпитаксиальные полупроводники. Наши продукты имеют хорошее ценовое преимущество и охватывают многие европейские и американские рынки. Мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запрос