Китай Полупроводниковые компоненты Производители, Поставщики, Фабрика

Как профессиональный производитель, мы хотели бы предоставить вам полупроводниковые компоненты. Semicorex — ваш партнер в улучшении обработки полупроводников. Наши покрытия из карбида кремния плотные, высокотемпературные и химически стойкие, они часто используются во всем цикле производства полупроводников, включая полупроводниковые пластины и их обработку, а также производство полупроводников.

Компоненты с покрытием SiC высокой чистоты имеют решающее значение для процессов в полупроводнике. Наше предложение варьируется от графитовых расходных материалов для горячих зон выращивания кристаллов (нагреватели, тигельные токоприемники, изоляция) до высокоточных графитовых компонентов для оборудования для обработки пластин, таких как графитовые токоприемники с покрытием из карбида кремния для эпитаксии или MOCVD.

Преимущества полупроводниковых процессов

Этапы осаждения тонкой пленки, такие как эпитаксия или MOCVD, или обработка пластин, такая как травление или ионная имплантация, должны выдерживать высокие температуры и жесткую химическую очистку. Semicorex поставляет графитовую конструкцию с покрытием из высокочистого карбида кремния (SiC), обеспечивающую превосходную термостойкость и длительную химическую стойкость, равномерную термическую однородность для постоянной толщины эпитаксиального слоя и стойкости.

Крышки камеры -
Крышки камер, используемые при выращивании кристаллов и обработке пластин, должны выдерживать высокие температуры и жесткую химическую очистку.

Конечный эффектор
Конечный эффектор — это рука робота, которая перемещает полупроводниковые пластины между позициями в оборудовании для обработки пластин и носителями.

Впускные кольца
Впускное кольцо для газа с покрытием SiC, полученное на оборудовании MOCVD. Соединение обладает высокой термостойкостью и коррозионной стойкостью, что обеспечивает высокую стабильность в экстремальных условиях.

Кольцо фокусировки
Semicorex поставляет фокусировочное кольцо с покрытием из карбида кремния, которое действительно устойчиво к RTA, RTP или жесткой химической очистке.

Вафельный патрон -
Ультраплоские керамические вакуумные держатели для пластин Semicorex имеют покрытие из карбида кремния высокой чистоты, используемое в процессе обработки пластин.