Шлифовальный шлифовальный пакет

Получиковой шлифовальный патрон для полукорекса - это специальная керамическая часть, созданная для процесса шлифования края пластины во время производства полупроводников. Керамика изготовлена ​​из высокой чистоты, белого глинозема (al₂o₃) с механической прочностью, химической устойчивостью и устойчивости размерной стабильности для поддержки процесса шлифования пластин. Поскольку новые технологии требуют больших диаметров пластин и более деликатных конструкций в устройствах, шлифование края пластин теперь играет значительную роль в предотвращении скопления, микро-разрыва и урожайности. Аксимальный керамический шлифовальный патрон обеспечивает устойчивую базовую линию для удовлетворения этих строгих производственных требований.

Глиноземной керамикаиспользуется в качестве материала конструкции из -за его невероятных физических, химических и тепловых свойств. Белый глинозцы имеют выдающуюся твердость только с бриллиантом, который занимает более высокую оценку по шкале твердости МОС, что позволяет шлифовальному патрону противостоять износу и истиранию в обозримом будущем с повторяющимся использованием. Учитывая значительную механическую прочность глинозема, пластина может быть надежно схвачена и удерживана, в то время как жесткость глинозем не допускает искажения или деформации, когда к детали применяется нагрузка. Учитывая это, глинозем является отличным выбором, чтобы создать приспособления и опоры, где требуется точность и долговечность.

Тепловая стабильность также является отличительной чертой керамики глинозема. С точкой плавления более 2000 ° C и стабильностью теплового шока, патрон может работать в условиях, где может произойти нагревание трения или изменение температуры, он согласуется с тем, где размерная стабильность является критической, хотя форма шлифовального края может придать немного изменения измерения. Сила зажима остается сильной для последовательного поддержания выравнивания в краевой шлифовании. Низкая теплопроводность глинозема не должна позволять локализованному нагреву нагревать пластину достаточно для любого компромисса целостности пластины в обработке деликатных подложков полупроводников.

С химической точки зрения, глиноземная керамика имеет небольшую реакцию на кислоты, щелочи и плазменные среды полупроводниковой обработки. В отличие от металлических патронов, которые могут коррозировать или полимерные приспособления, которые могут продолжать деградировать без явного мониторинга, керамика глинозема невосприимчива к этим повседневным сервисным циклам при полупроводниковой обработке. Эта инертность обеспечит нулевое загрязнение поверхности пластины и будет поддерживать чистоту процесса, ограничивая любые потери урожая.

В сегодняшнем производственном ландшафте полупроводников процесс измельчения края является многогранным: он готовит пластину для последующей обработки, а также обеспечивает безопасный транспорт, обработку и интеграцию к наиболее продвинутой литографии и инструментам травления. При этом патрон с рулемыми краями пластин является важной частью загадки безопасного прикрепления пластины, точно удерживая, и он непосредственно способствует надежности пластин и производительности продукта. При инвестициях в керамику глинозема время сохраняется благодаря увеличению долговечности такого актива для ограничения времени простоя, снижения затрат на детали и максимизации эффективности оборудования (OEE).

Шлифовальный патрон палаты, сделанный изглиноземной керамикапредставляет все преимущества сложной материальной науки и точной инженерии. Это иллюстрирует качества твердости, износостойкости, термической стабильности и химической инертности, необходимой для процесса изготовления полупроводниковых пластин. Надежная производительность может привести к надежному качеству края пластины, хорошему урожайности и продолжительному сроку службы оборудования. Для производителей полупроводников, приверженных безупречной точке и эффективности, является решением глиняного шлифовального патрона.