Монокристаллические кремниевые электроды

Монокристаллические кремниевые электродыобычно устанавливаются в верхней части камеры травления и служат верхним электродом. Поверхность электродов из монокристаллического кремния имеет равномерно распределенные микроотверстия, которые позволяют равномерно подавать травильный газ в реакционную камеру. В процессе травления они работают с нижним электродом, создавая однородное электрическое поле, что способствует обеспечению идеальных условий для прецизионного травления.

Тщательный выбор материалов

Компания Semicorex выбирает монокристаллический кремний премиум-класса, выращенный в MCZ, для производства монокристаллических кремниевых электродов, обеспечивая лучшие в отрасли характеристики и качество продукции.

1. Сверхвысокая чистота

Монокристаллические кремниевые электроды Semicorex обладают сверхвысокой чистотой более 99,9999999%, что означает крайне низкое содержание внутренних металлических примесей.

2. Исключительная однородность сопротивления.

В отличие от обычного монокристаллического кремния CZ, монокристаллический кремний, выращенный MCZ, используемый Semicorex, обеспечивает однородность удельного сопротивления ниже 5%. Это низкое разрешение. контролируется ниже 0,02 Ом·см, среднее разрешение. составляет от 0,2 до 25 Ом·см, а высокое разрешение. составляет 70–90 Ом·см (индивидуальные настройки доступны по запросу).

3. Отличная структура материала.

Монокристаллический кремний, выращенный методом MCZ, имеет более стабильную структуру и меньше дефектов, благодаря чему монокристаллические кремниевые электроды Semicorex обеспечивают замечательную стойкость к плазменной коррозии и выдерживают суровые условия травления.

---

Высокая точность обработки

Семикорексмонокристаллический кремнийЭлектроды производятся в рамках полного производственного процесса от кремниевого слитка до готового продукта, включая нарезку, шлифовку поверхности, сверление отверстий, мокрое травление и полировку поверхности. Компания Semicorex обеспечивает строгий контроль точности на каждом этапе, чтобы гарантировать, что диаметр, толщина, плоскостность поверхности, расстояние между отверстиями и апертура электродов поддерживаются в пределах идеальных допусков.

1. Обработка микроотверстий

Микроотверстия на электродах из монокристаллического кремния имеют одинаковые расстояния и одинаковые диаметры (от 0,2 до 0,8 мм), а также гладкие внутренние стенки без заусенцев. Это эффективно гарантирует равномерную и стабильную подачу травильного газа, обеспечивая тем самым однородность и точность травления пластин.

2. Точность обработки

Точность обработки монокристаллических кремниевых электродов Semicorex контролируется в пределах 0,3 мм, точность их полировки может строго контролироваться ниже 0,1 мкм, тонкого шлифования – менее 1,6 мкм.