Кремниевые кольца для травления

Кремниевые кольца травления являются важными компонентами камеры плазменного травления оборудования для травления CCP/ICP и обычно размещаются вокруг полупроводниковой пластины. Их основные функции — поддержка полупроводниковой пластины, поддержание равномерного распределения плазмы, защита края пластины и, таким образом, помощь в создании оптимальных рабочих условий для процесса плазменного травления.

Преимущества силиконовых травильных колец Semicorex

1. Выбор материала премиум-класса

Кремниевые травильные кольца Semicorex изготовлены из тщательно отобранного MCZ высокой чистоты.монокристаллический кремний, который обладает следующими превосходными свойствами по сравнению с обычным монокристаллическим кремнием CZ.

Высокая чистота: Чистота превышает 99,9999999%, что означает, что кремниевые травильные кольца Semicorex практически не содержат примесей. Эта сверхвысокая чистота позволяет эффективно избежать влияния примесей компонентов во время процесса травления, тем самым гарантируя высокую точность травления.

Стабильная структура: Монокристаллический кремний MCZ имеет превосходную кристаллическую структуру с меньшим количеством дефектов, чем обычный монокристаллический кремний CZ. Эта стабильная кристаллическая структура придает кремниевым травильным кольцам Semicorex повышенную коррозионную стойкость к плазменной коррозии и позволяет им выдерживать суровые условия травления.

Превосходная однородность удельного сопротивления:Силиконовые кольца Semicorex для травленияобеспечивают исключительную однородность сопротивления с RRG < 5%. Низкое разрешение. (<0,02 Ом·см), среднее разрешение. (0,2–25 Ом·см), высокое разрешение. (>100 Ом·см). Эта превосходная однородность удельного сопротивления может минимизировать неравномерное распределение плазмы, вызванное чрезмерно высоким или низким удельным сопротивлением, что способствует созданию идеального электрического поля для высокоточного плазменного травления.

2. Точная обработка и строгий контроль качества.

Semicorex может похвастаться опытной технической командой, которая может обеспечить индивидуальную настройку и техническую оценку для наших уважаемых клиентов, а также установила систематические процедуры обработки и проверки, чтобы гарантировать качество продукции.

Гибкие услуги по индивидуальной настройке: Semicorex поддерживает настройку на основе чертежей клиента, а максимальный диаметр кремниевых колец для травления может достигать 470 мм.

Высококачественная обработка поверхности: точность полировки можно строго контролировать в пределах Ra < 0,1 мкм, а тонкое шлифование обеспечивает чистоту поверхности Ra > 0,1 мкм.

Строгий контроль качества: будут проводиться измерения размеров, испытания на удельное сопротивление и визуальный осмотр, чтобы убедиться в отсутствии сколов, царапин, трещин, пятен и других дефектов на кремниевых кольцах.