Кольца Poly-Si с прорезями

Кольца из поли-Si с прорезями обычно устанавливаются в реакционную камеру современного оборудования для травления полупроводников. Они работают синергетически с кремниевыми деталями, включая кремниевыекольца фокусировки, кремниевые внешние кольца и кремнийдушевые насадки. Эти детали могут создать стабильную и оптимальную реакционную среду для процесса травления, обеспечивая превосходнуютравлениеточность и последовательность процесса.

Функции колец Semicorex из поли-Si с прорезями

1. Щелевые кольца Semicorex из поли-Si оснащены множеством равномерно распределенных щелей, которые служат газовыми проходами и обеспечивают плавный выход технологических газов после реакции.

2. Кольца Semicorex из поли-Si с прорезями обеспечивают превосходный контроль над плазмой, обеспечивая надежную защиту реакционной камеры оборудования для травления полупроводников.

3. Кольца Semicorex из поли-Si с прорезями помогают регулировать электрическое поле и давление в камере, тем самым предотвращая влияние нестабильности на последовательность процесса травления.

Высокий стандарт выбора материала

Щелевые кольца Semicorex Poly-Si изготавливаются из высококачественного поликристаллического кремния с уровнем чистоты более 99,9999%, что придает им следующие превосходные свойства.

1. Сверхвысокая чистота и чрезвычайно низкое содержание примесей.

2. Исключительная стойкость к плазменной коррозии.

3. Благоприятные электрические свойства с однородностью сопротивления: RRG ≤ 5%, низкое разрешение. (<0,02), среднее разрешение. (1–4) и в высоком разрешении. (70–90).

Производственные возможности и контроль качества

Оснащенная современным обрабатывающим оборудованием и опытной технической командой, компания Semicorex строго контролирует каждый производственный процесс и предлагает нашим уважаемым клиентам высококачественные и хорошо подобранные кольца с прорезями из поли-кремния. Кроме того, компания Semicorex осуществляет строгий контроль размеров, испытаний на удельное сопротивление и визуальный осмотр готовых колец из поликремния с прорезями, чтобы убедиться в отсутствии таких дефектов, как сколы, царапины, трещины и пятна.