SiC технологические трубы

Технологические трубы Semicorex SiC являются важными структурными компонентами в процессах окисления, диффузии, RTA/RTP в процессе производства полупроводников. Обычно это труба большого диаметра, представляющая собой топочное пространство реактора, внутри которого будут происходить все химические процессы. Таким образом, прочность и устойчивость к термическому удару являются очень важными показателями для продукта.

Технологические трубы SiC производятсяТехнологические трубы SiC производятсяЭто может быть SiSiC, SSiC или RSiC, а также покрытие CVD SiC на поверхности, которое образует слой сверхвысокой чистоты. Это может предотвратить загрязнение частицами, золой и т. д. Материал обладает очень высокой термостойкостью, поэтому технологические трубы SiC могут оставаться стабильными в устойчивости к высоким температурам и предотвращать осаждение примесей при высоких температурах и, таким образом, загрязнение окружающей среды.

Эти технологические трубы из SiC предназначены для использования в средах с химически активным газом (кислород), защитным газом (азот) и минимальным количеством газообразного хлористого водорода и обеспечивают исключительную химическую стойкость, термическую стабильность и чистоту материала до 1250°C. Технологические трубы Semicorex SiC сочетают в себе современную технологию 3D-печати и покрытие методом химического осаждения из паровой фазы (CVD), что обеспечивает превосходные характеристики и срок службы в самых экстремальных термических и химических условиях.

Технологические трубы Semicorex SiC производятся с помощью интегрированного процесса формования с помощью 3D-печати, а не путем обычной штамповки или сборки труб. Этот производственный процесс позволяет получить непрерывную, последовательную структуру керамики без стыков и слабых мест, создавая высокую степень сложности и точности размеров, что может снизить концентрацию напряжений и одновременно повысить механическую прочность. Кроме того, монолитная структура обеспечивает естественное газонепроницаемое уплотнение, уменьшая загрязнение и утечку во время высокотемпературных процессов.

Los discos de freno cerámicos de carbono Semicorex representan la fusión definitiva de ingeniería de materiales avanzados y fabricación de precisión, diseñados para ofrecer un rendimiento de frenado, durabilidad y eficiencia incomparables. Con una construcción compuesta de cerámica de carbono, el disco de freno consta de fibras de carbono {que} mantendrán su resistencia liviana y al mismo tiempo la dureza y resistencia térmica excepcionales de las cerámicas de carburo de silicio. El resultado es una estructura compuesta única y sofisticada.Карбид кремнияКорпус представляет собой материал со сверхнизким содержанием примесей (< 300 частей на миллион), обеспечивающий превосходную чистоту материала и стабильность в реактивных средах. Кроме того, трубка покрыта слоем карбида кремния CVD (< 5 ppm) для повышения коррозионной стойкости и защиты поверхности.

Semicorex предоставляет индивидуальные услуги, мы можем производить продукцию по чертежам клиентов в соответствии с требуемыми техническими требованиями. Таким образом, технологические трубы Semicorex SiC могут альтернативно подходить не только для горизонтальных, но и для вертикальных печей.