Силиконовые кассетные лодки

Кремниевые кассетные лодочки, изготовленные из непревзойденного поликристаллического кремния или монокристаллического кремния высокой чистоты, обладают следующими преимуществами:

Они более устойчивы к ударам и менее склонны к поломке при погрузке и разгрузке, чем кварцевые лодки.

Их материалы имеют тот же химический состав, что и пластины, что сводит к минимуму количество нежелательных ионов примесей во время высокотемпературных процессов.

2. Превосходная термическая стабильность: 

Они способны выдерживать недеформацию и сохранять точное расстояние при длительном воздействии высоких температур (около 1250°C), обеспечивая тем самым стабильную опорную платформу для пластин.

3. Отличные механические свойства: 

Они более устойчивы к ударам и менее склонны к поломке при погрузке и разгрузке, чем кварцевые лодки.

4.Длительный срок службы: 

Благодаря отсутствию поверхностного покрытия их поверхностные материалы не отслаиваются даже при длительном воздействии сложных высокотемпературных сред.

Семикорекс кремнийкассетные лодкипредставляют собой небольшие опоры для пластин и носители для переноса пластин, совместимые с 4-дюймовыми и 6-дюймовыми горизонтальными высокотемпературными печами. Интегрированная структурная конструкция позволяет избежать зазоров и структурных недостатков в соединениях, что значительно снижает риск растрескивания, вызванного механическим воздействием, химической коррозией или термическим напряжением. Лодочки из кремниевых кассет хорошо совместимы с такими высокотемпературными процедурами обработки, как окисление, диффузия, отжиг и высокотемпературная очистка, во многом благодаря передовой технологии обработки Semicorex.

Силиконовые кассетные лодочки Semicorex поддерживают индивидуальные настройки высокого класса для наших уважаемых клиентов, включая такие аспекты, как форма стержня с канавкой, длина зуба с канавкой, профиль, угол наклона и общая емкость загрузки пластин. Такая индивидуальная конструкция гарантирует, что пластины будут точно расположены с фиксированными интервалами внутри кремниевых кассетных лодочек, эффективно уменьшая позиционные отклонения и неравномерный нагрев во время обработки и тем самым предотвращая ухудшение электрических характеристик чипа или даже полный выход чипа из строя. Чтобы гарантировать, что клиенты получают высококачественную продукцию, силиконовые кассетные лодочки Semicorex должны пройти строгие проверки качества, включая точность размеров, свойства материала, плоскостность поверхности, общую чистоту и остаточное напряжение.