Покрытие SiC представляет собой тонкий слой на токоприемнике, полученный методом химического осаждения из паровой фазы (CVD). Карбид кремния имеет ряд преимуществ перед кремнием, в том числе 10-кратную напряженность электрического поля пробоя, 3-кратную ширину запрещенной зоны, что обеспечивает материалу высокую температурную и химическую стойкость, отличную износостойкость, а также теплопроводность.
Semicorex предоставляет индивидуальное обслуживание, помогает вам внедрять инновации с использованием компонентов, которые служат дольше, сокращают время цикла и повышают производительность.
Покрытие SiC обладает рядом уникальных преимуществ.
Устойчивость к высоким температурам: токоприемник с CVD-покрытием SiC может выдерживать высокие температуры до 1600°C без значительной термической деградации.
Химическая стойкость: покрытие из карбида кремния обеспечивает превосходную стойкость к широкому спектру химикатов, включая кислоты, щелочи и органические растворители.
Износостойкость: покрытие SiC придает материалу превосходную износостойкость, что делает его пригодным для применений, связанных с высоким износом.
Теплопроводность: покрытие CVD SiC придает материалу высокую теплопроводность, что делает его пригодным для использования в высокотемпературных приложениях, требующих эффективной теплопередачи.
Высокая прочность и жесткость: токоприемник с покрытием из карбида кремния придает материалу высокую прочность и жесткость, что делает его пригодным для применений, требующих высокой механической прочности.
Покрытие SiC используется в различных областях применения.
Производство светодиодов: Токоприемник с покрытием CVD SiC используется при производстве различных типов светодиодов, включая синие и зеленые светодиоды, УФ-светодиоды и светодиоды с глубоким УФ-излучением, благодаря его высокой теплопроводности и химической стойкости.
Мобильная связь: токоприемник с CVD-покрытием SiC является важной частью HEMT для завершения эпитаксиального процесса GaN-on-SiC.
Обработка полупроводников: Токоприемник с CVD-покрытием SiC используется в полупроводниковой промышленности для различных применений, включая обработку пластин и эпитаксиальное выращивание.
Графитовые компоненты с покрытием SiC
Изготовленное из графита с покрытием из карбида кремния (SiC), покрытие наносится методом CVD на определенные марки графита высокой плотности, поэтому оно может работать в высокотемпературной печи при температуре более 3000 ° C в инертной атмосфере и 2200 ° C в вакууме. .
Особые свойства и малая масса материала обеспечивают высокую скорость нагрева, равномерное распределение температуры и исключительную точность управления.
Данные о материале покрытия Semicorex SiC
Типичные свойства |
Единицы |
Ценности |
Структура |
|
FCC β-фаза |
Ориентация |
Фракция (%) |
111 предпочтительный |
Объемная плотность |
г/см³ |
3.21 |
Твердость |
Твердость по Виккерсу |
2500 |
Теплоемкость |
Дж кг-1 К-1 |
640 |
Тепловое расширение 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6К-1 |
4.5 |
Модуль Юнга |
Gpa (изгиб 4 пт, 1300 ℃) |
430 |
Размер зерна |
мкм |
2~10 |
Температура сублимации |
℃ |
2700 |
Фелексуральная сила |
МПа (RT 4-точечный) |
415 |
Теплопроводность |
(Вт/мК) |
300 |
Выводы. Токоприемник с CVD-покрытием SiC представляет собой композиционный материал, сочетающий в себе свойства токоприемника и карбида кремния. Этот материал обладает уникальными свойствами, среди которых высокая температурная и химическая стойкость, отличная износостойкость, высокая теплопроводность, высокая прочность и жесткость. Эти свойства делают его привлекательным материалом для различных высокотемпературных применений, включая обработку полупроводников, химическую обработку, термообработку, производство солнечных батарей и производство светодиодов.
Реакторная система для жидкофазной эпитаксии (LPE) Semicorex — это инновационный продукт, который обеспечивает превосходные тепловые характеристики, равномерный термический профиль и превосходную адгезию покрытия. Его высокая чистота, стойкость к высокотемпературному окислению и коррозионная стойкость делают его идеальным выбором для использования в полупроводниковой промышленности. Возможности настройки и экономичность делают его высококонкурентным продуктом на рынке.
Читать далееОтправить запросРеактор для эпитаксиального осаждения Semicorex CVD в цилиндрическом корпусе — это высокопрочный и надежный продукт для выращивания эпиксиальных слоев на пластинчатых чипах. Его стойкость к высокотемпературному окислению и высокая чистота делают его пригодным для использования в полупроводниковой промышленности. Его равномерный термический профиль, ламинарный характер потока газа и предотвращение загрязнения делают его идеальным выбором для высококачественного выращивания эпиксиального слоя.
Читать далееОтправить запросЕсли вам нужен высокопроизводительный графитовый токоприемник для использования в производстве полупроводников, идеальным выбором станет реактор для эпитаксиального осаждения кремния Semicorex. Его покрытие SiC высокой чистоты и исключительная теплопроводность обеспечивают превосходные свойства защиты и распределения тепла, что делает его идеальным выбором для надежной и стабильной работы даже в самых сложных условиях.
Читать далееОтправить запросЕсли вам нужен графитовый токоприемник с исключительной теплопроводностью и свойствами распределения тепла, обратите внимание на систему Epi с индуктивным нагревом ствола Semicorex. Его покрытие высокой чистоты SiC обеспечивает превосходную защиту в высокотемпературных и агрессивных средах, что делает его идеальным выбором для использования в производстве полупроводников.
Читать далееОтправить запросБлагодаря своей исключительной теплопроводности и свойствам распределения тепла цилиндрическая структура Semicorex для эпитаксиальных реакторов полупроводников является идеальным выбором для использования в процессах ЖФЭ и других приложениях производства полупроводников. Покрытие SiC высокой чистоты обеспечивает превосходную защиту в высокотемпературных и агрессивных средах.
Читать далееОтправить запросЕсли вы ищете высокопроизводительный графитовый токоприемник для использования в производстве полупроводников, то идеальным выбором станет графитовый цилиндрический токоприемник Semicorex с SiC-покрытием. Его исключительная теплопроводность и свойства распределения тепла делают его идеальным выбором для надежной и стабильной работы в высокотемпературных и агрессивных средах.
Читать далееОтправить запрос