Вафельный вакуумный патрон

Сверхчистые керамические компоненты Semicorex, идеально подходящие для литографии нового поколения и работы с пластинами, обеспечивают минимальное загрязнение и исключительно долгий срок службы. Наш вакуумный патрон для вафель имеет хорошее ценовое преимущество и охватывает многие европейские и американские рынки. Мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.

Отправить запрос

Описание продукта

Ультраплоский керамический вакуумный патрон Semicorex для вафель имеет покрытие из карбида кремния высокой чистоты, используемое в процессе обработки вафель. Вакуумный патрон для полупроводниковых вафель на оборудовании MOCVD Рост соединения обладает высокой термостойкостью и коррозионной стойкостью, что обеспечивает высокую стабильность в экстремальных условиях и улучшает управление доходностью при обработке полупроводниковых пластин. Конфигурации с малым контактом с поверхностью минимизируют риск попадания частиц на обратную сторону для чувствительных приложений.

В Semicorex мы сосредоточены на предоставлении высококачественных и экономичных вакуумных держателей для вафель, мы уделяем первостепенное внимание удовлетворенности клиентов и предлагаем экономически эффективные решения. Мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером, поставляя высококачественную продукцию и исключительное обслуживание клиентов.

Параметры вакуумного патрона для вафель

Основные характеристики покрытия CVD-SIC
SiC-ХОПФ свойства
Кристальная структура	Фаза FCC Î²
Плотность	г/см³	3.21
твердость	твердость по Виккерсу	2500
Размер зерна	Î¼ м	2~10
Химическая чистота	%	99.99995
Теплоемкость	Дж·кг-1 ·К-1	640
Температура сублимации	℃	2700
Фелексурная сила	МПа (4-балльная КТ)	415
Модуль Юнга	ГПа (изгиб 4pt, 1300°C)	430
Тепловое расширение (CTE)	10-6К-1	4.5
Теплопроводность	(Вт/мК)	300