Semicorex является крупным производителем и поставщиком графитового токоприемника с покрытием из карбида кремния в Китае. Мы ориентируемся на полупроводниковые отрасли, такие как слои карбида кремния и эпитаксиальные полупроводники. Наш вафельный технологический нагреватель имеет хорошее ценовое преимущество и охватывает многие европейские и американские рынки. Мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером.
Вафельный технологический нагреватель Semicorex изготовлен из графита с покрытием из карбида кремния (SiC), покрытие наносится методом CVD на определенные сорта графита высокой плотности, поэтому он может работать в высокотемпературной печи при температуре более 3000 ° C в инертной атмосфере. 2200°С в вакууме.
Особые свойства и малая масса материала вафельного нагревателя обеспечивают высокую скорость нагрева, равномерное распределение температуры и выдающуюся точность управления. По сравнению с другими материалами поверхность карбида кремния остается плоской благодаря низкому тепловому расширению даже при работе с быстрыми перепадами температуры. Нагревательные пластины очень подходят для сложных процессов в системах обработки полупроводников.
В Semicorex мы сосредоточены на предоставлении высококачественной и экономически эффективной продукции для наших клиентов. Наш вафельный технологический нагреватель имеет ценовое преимущество и экспортируется на многие европейские и американские рынки. Мы стремимся быть вашим долгосрочным партнером, поставляя неизменно качественную продукцию и исключительное обслуживание клиентов.
Параметры вафельного нагревателя
Техническая спецификация |
ВЭТ-М3 |
Объемная плотность (г/см3) |
¥1,85 |
Зольность (частей на миллион) |
500 ₽ |
Шор твердость |
¥45 |
Удельное сопротивление (мкм.м) |
¤12 |
Прочность на изгиб (МПа) |
¥40 |
Прочность на сжатие (МПа) |
¥70 |
Макс. Размер зерна (мкм) |
¤43 |
Коэффициент теплового расширения, мм/°C |
¤4,4*10-6 |
Особенности вафельного нагревателя
- Покрытия CVD SiC для увеличения срока службы.
- Высокая термостойкость, коррозионная стойкость, длительный срок службы могут улучшить качество пластин и выход.
- Он имеет чрезвычайно низкий коэффициент теплового расширения, высокую термостойкость, высокую износостойкость, хорошую изоляцию, хорошую химическую стабильность и проникновение почти фиолетового (красного) видимого света.
Мы можем предоставить антиокислительный и долговечный графитовый тигель, графитовую форму и все части графитового нагревателя.