Вафельный технологический нагреватель

Semicorex является крупным производителем и поставщиком графитовых токоприемников с покрытием из карбида кремния в Китае. Мы специализируемся на полупроводниковой промышленности, такой как слои карбида кремния и эпитаксия полупроводников. Наш вафельный нагреватель имеет хорошее ценовое преимущество и охватывает многие рынки Европы и Америки. Мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером.

Отправить запрос

Описание продукта

Нагреватель полупроводниковых пластин Semicorex изготовлен из графита с покрытием из карбида кремния (SiC). Покрытие наносится методом CVD на определенные марки графита высокой плотности, поэтому он может работать в высокотемпературной печи с температурой более 3000 ° C в инертной атмосфере. 2200°С в вакууме.
Особые свойства и малая масса материала вафельного нагревателя обеспечивают высокую скорость нагрева, равномерное распределение температуры и исключительную точность управления. По сравнению с другими материалами поверхность карбида кремния остается плоской из-за низкого теплового расширения даже при работе с быстрыми изменениями температуры. Нагревательные пластины идеально подходят для сложных процессов в системах обработки полупроводников.
В Semicorex мы уделяем особое внимание предоставлению нашим клиентам высококачественной и экономически эффективной продукции. Наш вафельный нагреватель имеет ценовое преимущество и экспортируется на многие рынки Европы и Америки. Мы стремимся стать вашим долгосрочным партнером, поставляя продукцию стабильного качества и обеспечивая исключительное обслуживание клиентов.

Параметры вафельного нагревателя

Техническая спецификация	ВЭТ-М3
Объемная плотность (г/см3)	≥1,85
Содержание золы (PPM)	≤500
Твердость по Шору	≥45
Удельное сопротивление (мкОм.м)	≤12
Прочность на изгиб (МПа)	≥40
Прочность на сжатие (МПа)	≥70
Макс. Размер зерна (мкм)	≤43
Коэффициент теплового расширения мм/°C	≤4,4*10-6

Особенности технологического нагревателя вафель

- Покрытия CVD SiC для увеличения срока службы.
- Высокая термостойкость, коррозионная стойкость, длительный срок службы, могут улучшить качество и выход пластин.
- Он имеет чрезвычайно низкий коэффициент теплового расширения, высокую термостойкость, высокую износостойкость, хорошую изоляцию, хорошую химическую стабильность и почти фиолетовое (красное) проникновение видимого света.

Мы можем обеспечить антиокислительные и долговечные графитовые тигли, графитовые формы и все части графитовых нагревателей.