Концевой эффектор SiC

Концевой эффектор Semicorex SiC изготовлен из графита с покрытием из карбида кремния (SiC). Покрытие наносится методом CVD на определенные марки графита высокой плотности, поэтому оно может работать в высокотемпературной печи с температурой более 3000 ° C в инертной атмосфере. 2200°С в вакууме.

Наш концевой эффектор из карбида кремния разработан для достижения наилучшей ламинарной схемы потока газа, обеспечивая равномерность термического профиля. Это помогает предотвратить любые загрязнения или диффузию примесей, обеспечивая высококачественный эпитаксиальный рост на пластине.

Свяжитесь с нами сегодня, чтобы узнать больше о нашем концевом эффекторе SiC.

Параметры конечного эффектора SiC

Особенности концевого эффектора SiC

- Избегайте отслаивания и обеспечьте покрытие на всей поверхности.

Устойчивость к высокотемпературному окислению: Стабилен при высоких температурах до 1600°C.

Высокая чистота: получено методом химического осаждения из паровой фазы CVD в условиях высокотемпературного хлорирования.

Коррозионная стойкость: высокая твердость, плотная поверхность и мелкие частицы.

Коррозионная стойкость: кислоты, щелочи, соли и органические реагенты.

- Достижение наилучшего ламинарного режима потока газа

- Гарантия равномерности теплового профиля

- Предотвратить любое загрязнение или диффузию примесей.