Semicorex является ведущим независимым производителем графита с покрытием из карбида кремния, высокочистого графита с прецизионной обработкой, специализирующегося на графите с покрытием из карбида кремния, керамике из карбида кремния и MOCVP в области производства полупроводников. Наш нагреватель пластин SiC с покрытием имеет хорошее ценовое преимущество и охватывает многие европейские и американские рынки. Мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Нагреватель полупроводниковых пластин с покрытием из карбида кремния Semicorex может работать в высокотемпературной печи с температурой более 3000 °C в инертной атмосфере и до 2200 °C в вакууме. Нагреватель пластин с покрытием из карбида кремния высокой чистоты обеспечивает превосходную термостойкость, равномерную тепловую однородность для постоянной толщины и сопротивления эпитаксиального слоя, а также длительную химическую стойкость. Покрытие из мелких кристаллов карбида кремния обеспечивает чистую, гладкую поверхность, что очень важно для обращения, поскольку нетронутые пластины контактируют с токоприемником во многих точках по всей площади.
В Semicorex мы сосредоточены на предоставлении высококачественных и экономичных нагревателей пластин с покрытием SiC, мы уделяем первостепенное внимание удовлетворенности клиентов и предлагаем экономичные решения. Мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером, поставляя высококачественную продукцию и исключительное обслуживание клиентов.
Параметры нагревателя пластин с покрытием SiC
Техническая спецификация |
ВЭТ-М3 |
Объемная плотность (г/см3) |
¥1,85 |
Зольность (частей на миллион) |
500 ₽ |
Шор твердость |
¥45 |
Удельное сопротивление (мкм.м) |
¤12 |
Прочность на изгиб (МПа) |
¥40 |
Прочность на сжатие (МПа) |
¥70 |
Макс. Размер зерна (мкм) |
¤43 |
Коэффициент теплового расширения, мм/°C |
¤4,4*10-6 |
Особенности нагревателя пластин с покрытием SiC
- Графит высокой чистоты с покрытием SiC
- Превосходная термостойкость и тепловая однородность
- Мелкие кристаллы SiC с покрытием для получения гладкой поверхности
- Высокая стойкость к химической очистке
- Материал устроен так, что не возникает трещин и расслаивания.