Semicorex является ведущим независимым производителем графита с покрытием из карбида кремния, графита высокой чистоты прецизионной обработки, специализирующегося на графите с покрытием из карбида кремния, керамике из карбида кремния, MOCVP в области производства полупроводников. Наш вафельный нагреватель с покрытием SiC имеет хорошее ценовое преимущество и охватывает многие рынки Европы и Америки. Мы с нетерпением ждем возможности стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Нагреватель пластин Semicorex с покрытием SiC может работать в высокотемпературной печи с температурой более 3000 °C в инертной атмосфере и 2200 °C в вакууме. Нагреватель пластин с покрытием высокой чистоты SiC обеспечивает превосходную термостойкость, равномерную термическую однородность для обеспечения постоянной толщины и стойкости эпи-слоя, а также длительную химическую стойкость. Мелкое кристаллическое покрытие SiC обеспечивает чистую, гладкую поверхность, что очень важно для удобства обращения, поскольку чистые пластины контактируют с токоприемником во многих точках по всей своей площади.
В компании Semicorex мы уделяем особое внимание поставке высококачественных и экономичных нагревателей пластин с карбидом кремния, мы уделяем приоритетное внимание удовлетворению потребностей клиентов и предоставляем экономически эффективные решения. Мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером, предоставляющим высококачественную продукцию и исключительное обслуживание клиентов.
Параметры вафельного нагревателя с покрытием SiC
Техническая спецификация |
ВЭТ-М3 |
Объемная плотность (г/см3) |
≥1,85 |
Содержание золы (PPM) |
≤500 |
Твердость по Шору |
≥45 |
Удельное сопротивление (мкОм.м) |
≤12 |
Прочность на изгиб (МПа) |
≥40 |
Прочность на сжатие (МПа) |
≥70 |
Макс. Размер зерна (мкм) |
≤43 |
Коэффициент теплового расширения мм/°C |
≤4,4*10-6 |
Особенности вафельного нагревателя с покрытием SiC
- Графит высокой чистоты с покрытием SiC
- Превосходная термостойкость и термическая однородность
- Мелкое кристаллическое покрытие SiC для гладкой поверхности
- Высокая стойкость к химической чистке.
- Материал спроектирован таким образом, чтобы не возникало трещин и расслоений.