Semicorex является крупным производителем и поставщиком графита с покрытием из карбида кремния в Китае. Мы поставляем нагреватели, опорные тигли, теплозащитные экраны и изоляционные компоненты для процессов выращивания монокристаллов и материалов. Мы ориентируемся на полупроводниковую промышленность, наш нагреватель кремниевых пластин имеет хорошее ценовое преимущество и охватывает многие европейские и американские рынки. Мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером.
Нагреватель кремниевых пластин Semicorex представляет собой карбид кремния с покрытием с использованием MOCVD, который может работать в высокотемпературной печи с температурой более 3000 °C в инертной атмосфере, 2200 °C в вакууме. Покрытие SiC представляет собой плотное износостойкое покрытие из карбида кремния (SiC).
Наш нагреватель кремниевых пластин обладает высокими коррозионными и термостойкими свойствами, а также отличной теплопроводностью. Мы наносим SiC тонкими слоями на графит, используя процесс химического осаждения из паровой фазы (CVD).
В Semicorex мы сосредоточены на предоставлении высококачественной и экономически эффективной продукции для наших клиентов. Наш нагреватель кремниевых пластин имеет ценовое преимущество и экспортируется на многие европейские и американские рынки. Мы стремимся быть вашим долгосрочным партнером, поставляя неизменно качественную продукцию и исключительное обслуживание клиентов.
Параметры нагревателя кремниевых пластин
Техническая спецификация |
ВЭТ-М3 |
Объемная плотность (г/см3) |
¥1,85 |
Зольность (частей на миллион) |
500 ₽ |
Шор твердость |
¥45 |
Удельное сопротивление (мкм.м) |
¤12 |
Прочность на изгиб (МПа) |
¥40 |
Прочность на сжатие (МПа) |
¥70 |
Макс. Размер зерна (мкм) |
¤43 |
Коэффициент теплового расширения, мм/°C |
¤4,4*10-6 |
Особенности нагревателя кремниевых пластин
- В покрытиях из карбида кремния используется метод CVD для увеличения срока службы.
- Теплоизоляция из высококачественного очищенного жесткого углерода.
- Как графитовая подложка, так и слой карбида кремния обладают высокой теплопроводностью и отличными свойствами распределения тепла.
- Покрытие из высокочистого графита и карбида кремния для защиты от проколов и увеличения срока службы
Мы можем предоставить антиокислительный и долговечный графитовый тигель, графитовую форму и все части графитового нагревателя.