Керамический концевой эффектор

Керамический концевой эффектор — это рука робота, которая перемещает полупроводниковые пластины между позициями в оборудовании для обработки пластин и носителями. Концевой эффектор должен иметь точные размеры и термическую стабильность, а также иметь гладкую, устойчивую к истиранию поверхность для безопасного обращения с пластинами без повреждения устройств или загрязнения твердыми частицами. Наш керамический концевой эффектор из карбида кремния высокой чистоты обеспечивает превосходную термостойкость, равномерную термическую однородность для постоянной толщины и стойкости эпитаксиального слоя, а также длительную химическую стойкость.

В Semicorex мы сосредоточены на предоставлении высококачественных и экономичных керамических концевых эффекторов, мы уделяем первостепенное внимание удовлетворенности клиентов и предлагаем экономически эффективные решения. Мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером, поставляя высококачественную продукцию и исключительное обслуживание клиентов.

Параметры керамического концевого эффектора

Особенности керамического концевого эффектора высокой чистоты

▪ Графит высокой чистоты с покрытием из карбида кремния

Превосходная термостойкость и термическая однородность

â Мелкие кристаллы карбида кремния с покрытием для получения гладкой поверхности

Высокая стойкость к химической очистке

✓ Материал разработан таким образом, чтобы не возникало трещин и расслаивания.