Керамический концевой эффектор

Керамический концевой эффектор — это рука робота, которая перемещает полупроводниковые пластины между позициями в оборудовании для обработки пластин и носителями. Концевой эффектор должен иметь точные размеры и термическую стабильность, а также иметь гладкую, устойчивую к истиранию поверхность, чтобы безопасно работать с пластинами, не повреждая устройства и не создавая загрязнения частицами. Наш керамический концевой эффектор из карбида кремния высокой чистоты обеспечивает превосходную термостойкость, равномерную термическую однородность для обеспечения постоянной толщины и стойкости эпи-слоя, а также длительную химическую стойкость.

В Semicorex мы уделяем особое внимание предоставлению высококачественных и экономичных керамических концевых эффекторов, мы уделяем приоритетное внимание удовлетворению потребностей клиентов и предоставляем экономически эффективные решения. Мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером, предоставляющим высококачественную продукцию и исключительное обслуживание клиентов.

Параметры керамического концевого эффектора

Особенности керамического концевого эффектора высокой чистоты

● Графит высокой чистоты с покрытием SiC.

● Превосходная термостойкость и термическая однородность.

● Мелкое кристаллическое покрытие SiC для гладкой поверхности.

● Высокая стойкость к химической чистке.

● Материал спроектирован таким образом, чтобы не возникало трещин и расслоений.