Semicorex поставляет полупроводниковую керамику для ваших OEM-инструментов для изготовления полуфабрикатов и компонентов для работы с пластинами, уделяя особое внимание слоям карбида кремния в полупроводниковой промышленности. Мы являемся производителем и поставщиком лотков для вафель на протяжении многих лет. Наш лоток для вафель имеет хорошее ценовое преимущество и охватывает большинство европейских и американских рынков. Мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Не только для этапов осаждения тонких пленок, таких как эпитаксия или MOCVD, или обработки пластин, Semicorex поставляет сверхчистый керамический носитель, используемый для поддержки пластин. В основе процесса лежит лоток для подложек для MOCVD, который сначала подвергается осаждению, поэтому он обладает высокой термостойкостью и коррозионной стойкостью. Носитель с покрытием SiC также обладает высокой теплопроводностью и отличными свойствами распределения тепла.
Свяжитесь с нами сегодня, чтобы узнать больше о нашем лотке для вафель.
Параметры лотка для вафель
Технические характеристики |
||||
Индекс |
Единица |
Ценить |
||
Название материала |
Реакция спеченного карбида кремния |
Спеченный карбид кремния без давления |
Рекристаллизованный карбид кремния |
|
Состав |
РБСиК |
SSiC |
R-SiC |
|
Объемная плотность |
г/см3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2,60-2,70 |
Предел прочности при изгибе |
МПа (кфунт/кв. дюйм) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°С)90-100(1400°С) |
Прочность на сжатие |
МПа (кфунт/кв. дюйм) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
твердость |
Кнуп |
2700 |
2800 |
/ |
Нарушение упорства |
МПа м1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Теплопроводность |
Вт/м.к |
95 |
120 |
23 |
Коэффициент температурного расширения |
10-6.1/°С |
5 |
4 |
4.7 |
Удельная теплоемкость |
Джоуль/г 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Максимальная температура воздуха |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Модуль упругости |
ГПа |
360 |
410 |
240 |
Разница между SSiC и RBSiC:
1. Процесс спекания отличается. RBSiC предназначен для внедрения свободного Si в карбид кремния при низкой температуре, SSiC образуется путем естественной усадки при 2100 градусах.
2. SSiC имеет более гладкую поверхность, более высокую плотность и более высокую прочность, для некоторых уплотнений с более строгими требованиями к поверхности SSiC будет лучше.
3. Разное время использования при разном pH и температуре, SSiC длиннее, чем RBSiC.
Особенности лотка для вафель
- Покрытия из карбида кремния CVD для увеличения срока службы.
- Теплоизоляция из высококачественного очищенного жесткого углерода.
- Как графитовая подложка, так и слой карбида кремния обладают высокой теплопроводностью и отличными свойствами распределения тепла.
- Покрытие из высокочистого графита и карбида кремния для защиты от проколов и увеличения срока службы
Доступные формы карбидокремниевой керамики¼
â Керамический стержень/керамический штифт/керамический поршень
â Керамическая трубка/керамическая втулка/керамическая втулка
Керамическое кольцо/керамическая шайба/керамическая прокладка
Керамический диск
â Керамическая плита/керамический блок
Керамический шар
Керамический поршень
Керамическая насадка
Керамический тигель
Другие нестандартные керамические детали