Лодки пластин

Лодки с полукорекс-пластинами, изготовленные из карбида кремния высокой чистоты (SIC), являются важными компонентами при изготовлении полупроводников. Полупроводнические процессы, в которых они используются, как правило, включают высокотемпературные и коррозивные среды, такие как процессы диффузии, окисление и LPCVD. Применение лодок SIC пластин было разработано для максимизации тепловой стабильности и химической сопротивления, что позволяет обеспечить оптимальную поддержку, выравнивание и перенос кремниевых пластин во время обработки для оптимальной доходности и производительности устройства.

Кремниевый карбид хорошо задокументирован как превосходная термически проводящая керамика, демонстрирующая высокую механическую прочность и превосходную тепловой устойчивость, устойчивость к окислению и агрессивную химическую устойчивость к химическим веществам, таким как HF и HCL. Свойства SIC делают его особенно привлекательным в качестве материала для лодок пластин для процессов изготовления полупроводников следующего поколения и в высокотемпературных средах. Лодки SIC пластин могут поддерживать структурную целостность и размерную стабильность при температурах процесса> 1500 ° C, сводя к минимуму риск деформации или загрязнения пластин при критических тепловых обработках.

Каждый sicлодка пластиныпроизводится из SIC высокой чистоты с использованием расширенных процессов формирования и спекания керамики и может быть адаптирована для обширного диапазона диаметров пластин (100 мм, 150 мм, 200 мм, 300 мм), а также конфигураций укладки, будь то вертикальные или горизонтальные. Наши лодки SIC PAFE имеют гладкие поверхности и превосходную плоскостность, которая сводит к минимуму генерацию частиц и идеально подходит для автоматизированных систем обработки пластин.

Контроль загрязнения и урожайность являются двумя наиболее важными проблемами в современных тканях. Чистота и надежность носителей SIC становления влияют на качество продукта и производительность процесса консистенции.  Лодки SIC Pafer имеют гораздо лучшую долговечность для использования, имеют меньше требований к техническому обслуживанию и более низкого TCO, чем альтернативы на основе Quartz или Alumina. Лучшая продолжительность жизни также означает меньше проблем с выпадением микрочастиц, поэтому, опять же, влияет на чистоту поверхности пластины и влияет на чистоту чистой комнаты.

Semicorex сосредоточен на проектировании и производстве лодок SIC PAFE, которые используют максимально возможное чистое сырье в сочетании с атмосферой низкого загрязнения.  Мы прилагаем все усилия для поддержания низкого уровня примесей, для поддержания пористости при низком значении и равномерной микроструктуре, чтобы работа команды могла регулярно пользоваться последовательными тепловыми характеристиками, точным расстоянием расстояния и непревзойденной устойчивости к химическому деградации.

Semicorex sicлодки пластинявляются необходимым элементом высокотемпературной обработки полупроводников. Кремниевые вафли с высокой точностью кремния имеют непревзойденные характеристики материала, инженерное превосходство и темперамент без микро-загрязнения, что делает их выбором высокого уровня для высокопроизводительной изготовления пластин. Semicorex обеспечивает надежность и инновационную высокую производительность для поддержки ваших самых критических миссионерских процессов полупроводниковых процессов.