Вафельная Лодочка

Лодка Semicorex Wafer Boat предназначена для работы в суровых условиях диффузионной печи, таких как высокие температуры, агрессивная среда и необходимость точного размещения пластин в процессе диффузии.

Вафельная лодочка изготовлена ​​из керамики из карбида кремния, выбранной из-за ее исключительных свойств. Карбид кремния известен своей высокой теплопроводностью, обеспечивающей равномерное распределение температуры по пластинам во время диффузии. Эта однородность имеет решающее значение для поддержания целостности пластин и обеспечения постоянного уровня легирования, что важно для функциональности производимых полупроводниковых устройств. Кроме того, высокая температура плавления и термическая стабильность карбида кремния позволяют вафельным лодочкам работать при повышенных температурах, необходимых в процессах диффузии, часто превышающих 1000°C, без деградации и деформации.

Одним из ключевых преимуществ керамики из карбида кремния в вафельных лодочках является ее превосходная химическая стойкость. Это сопротивление особенно важно для поддержания чистоты полупроводниковых пластин, поскольку любое загрязнение может привести к дефектам конечного продукта, что поставит под угрозу производительность интегральных схем.

Структурная целостность Wafer Boat — еще один критический фактор в ее конструкции. Конструкция должна гарантировать, что пластины надежно удерживаются на месте с точным расстоянием между ними, чтобы обеспечить равномерное воздействие химически активных газов. Эта точность жизненно важна для достижения равномерного легирования всех пластин, что напрямую влияет на электрические характеристики полупроводниковых устройств.

В дополнение к своим термическим и химическим свойствам керамика из карбида кремния обеспечивает превосходную стабильность размеров, что имеет решающее значение для требований высокой точности в производстве полупроводников. Эта стабильность гарантирует, что пластины остаются идеально выровненными, обеспечивая точную и равномерную диффузию легирующих примесей по всей поверхности каждой пластины, что приводит к производству высококачественных полупроводниковых устройств.

Вафельные лодочки Semicorex, изготовленные из карбидокремниевой керамики, являются важным компонентом процесса диффузии полупроводников. Его исключительная теплопроводность, химическая стойкость, механическая прочность и стабильность размеров делают его идеально подходящим для требовательных условий производства полупроводников. Его использование не только повышает эффективность и надежность процесса диффузии, но и способствует общей экономической эффективности производства полупроводников.