Пластинчатая лодка для полупроводникового процесса

Semicorex предлагает вафельные лодочки, пьедесталы и нестандартные держатели вафель для вертикальных/столбчатых и горизонтальных конфигураций. Мы являемся производителями и поставщиками пленок для покрытия из карбида кремния в течение многих лет. Наша вафельная лодка для полупроводниковых процессов имеет хорошее ценовое преимущество и охватывает большинство европейских и американских рынков. Мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.

Отправить запрос

Описание продукта

Semicorex SiC Wafer Boat для полупроводникового производства, идеальное решение для обработки и защиты пластин в производстве полупроводников. Наша вафельная лодочка для полупроводникового процесса изготовлена из высококачественного карбида кремния, который обладает хорошей коррозионной стойкостью и превосходной устойчивостью к высоким температурам и тепловому удару. Усовершенствованная керамика обеспечивает превосходную термостойкость и стойкость к плазме, а также уменьшает количество частиц и загрязняющих веществ для носителей пластин большой емкости.

Параметры вафельной лодочки для полупроводникового процесса

Технические характеристики
Индекс	Единица	Ценить
Название материала		Реакция спеченного карбида кремния	Спеченный карбид кремния без давления	Рекристаллизованный карбид кремния
Состав		РБСиК	SSiC	R-SiC
Объемная плотность	г/см3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Предел прочности при изгибе	МПа (кфунт/кв. дюйм)	338(49)	380(55)	80-90 (20°С)90-100(1400°С)
Прочность на сжатие	МПа (кфунт/кв. дюйм)	1120(158)	3970(560)	> 600
твердость	Кнуп	2700	2800	/
Нарушение упорства	МПа м1/2	4.5	4	/
Теплопроводность	Вт/м.к	95	120	23
Коэффициент температурного расширения	10^-6.1/°С	5	4	4.7
Удельная теплоемкость	Джоуль/г 0k	0.8	0.67	/
Максимальная температура воздуха	℃	1200	1500	1600
Модуль упругости	ГПа	360	410	240

Особенности вафельной лодочки для полупроводникового процесса

Превосходная термостойкость и тепловая однородность
Мелкие кристаллы SiC с покрытием для получения гладкой поверхности
Высокая стойкость к химической очистке
Материал разработан таким образом, чтобы не возникало трещин и расслаивания.

Горячие Теги: Вафельная лодка для полупроводникового процесса, Китай, Производители, Поставщики, Фабрика, Индивидуальные, Массовые, Усовершенствованные, Прочные