Кремниевые изогнутые электроды

В современном оборудовании для травления кремниевый изогнутый электрод обычно устанавливается в верхней части камеры травления лицом к полупроводниковой пластине. Кремниевый изогнутый электрод обычно работает в сочетании с электростатическим патроном, кремниевым фокусирующим кольцом, кремниевым краевым кольцом, кремниевым выпускным кольцом и кремниевым защитным кольцом, чтобы обеспечить оптимальные рабочие условия для высокоточного травления.

Функции изогнутых кремниевых электродов Semicorex

1. Совместимость со сложным травлением 3D-структур.

Благодаря исключительным возможностям трехмерного управления электрическим полем Semicorexкремниевые изогнутые электродыможет идеально соответствовать геометрическим характеристикам сложных конструкций. Специальная изогнутая конструкция обеспечивает точное управление плазмой и оптимизированное распределение энергии, что существенно влияет на соотношение сторон и вертикальность боковой стенки при травлении 3D-структуры и полностью соответствует требованиям производственной линии, связанным с передовыми процессами упаковки и интеграцией 3D-ИС.

2. Точный контроль распределения травильного газа

Кремниевые изогнутые электроды Semicorex имеют на поверхности множество равномерно распределенных микроотверстий для входа травильного газа в камеру травления. Кремниевые изогнутые электроды Semicorex обеспечивают точный контроль над травильным газом и позволяют ему равномерно распределяться в камере травления, тем самым сводя к минимуму отклонения процесса, вызванные неравномерным распределением газа.

Преимущества изогнутых кремниевых электродов Semicorex

1. Сверхвысокая чистота

Кремниевые изогнутые электроды Semicorex изготовлены из монокристаллов сверхвысокой чистоты.кремнийс уровнем чистоты выше 99,9999999%, что обеспечивает превосходную устойчивость к плазменной эрозии. Такой выбор материалов, отвечающий высоким стандартам, позволяет эффективно избежать нежелательного загрязнения, вызванного побочными продуктами травления, а также значительно продлить срок службы кремниевых изогнутых электродов.

2. Отличные электрические свойства.

Изогнутые кремниевые электроды Semicorex, изготовленные из монокристаллического кремния, выращенного в MCZ, демонстрируют превосходную однородность удельного сопротивления: <5 % и широкий выбираемый диапазон удельного сопротивления: низкое разрешение. (<0,02), среднее разрешение. (1–4) и в высоком разрешении. (70–90).

3. Прецизионная точность обработки.

Благодаря высокоточной механической обработке изогнутые кремниевые электроды Semicorex обеспечивают постоянный размер пор и равномерное распределение отверстий. Их поверхности тонко полируются и шлифоваются: полированные (Ra < 0,1 мкм) и шлифованные (Ra < 1,6 мкм), при этом общая точность обработки контролируется в пределах 0,03 мм.