Компания Semicorex разрабатывает керамику полупроводникового класса для OEM-инструментов для изготовления полуфабрикатов и компонентов для работы с пластинами. Наши вафельные лодочки из карбида кремния имеют хорошее ценовое преимущество и охватывают многие рынки Европы и Америки. Мы с нетерпением ждем возможности стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Вафельные лодочки из карбида кремния компании Semicorex, обладающие чрезвычайно высокой чистотой (до 99,99%), превосходной плазменной и термостойкостью, а также ограниченным появлением частиц, используются в деталях оборудования для обработки полупроводников, включая конструкционные компоненты и инструменты.
В Semicorex мы уделяем особое внимание предоставлению высококачественных и экономически эффективных вафельных лодок из карбида кремния, мы уделяем приоритетное внимание удовлетворению потребностей клиентов и предоставляем экономически эффективные решения. Мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером, предоставляющим высококачественную продукцию и исключительное обслуживание клиентов.
Свяжитесь с нами сегодня, чтобы узнать больше о нашей вафельной лодочке из карбида кремния.
Параметры вафельных лодочек из карбида кремния
Технические свойства |
||||
Индекс |
Единица |
Ценить |
||
Название материала |
Реакционно-спеченный карбид кремния |
Спеченный карбид кремния без давления |
Рекристаллизованный карбид кремния |
|
Состав |
РБСиК |
ССиК |
R-SiC |
|
Объемная плотность |
г/см3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2,60-2,70 |
изгибная прочность |
МПа (кпси) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°С) 90-100(1400°С) |
Прочность на сжатие |
МПа (кпси) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
Твердость |
Кнопка |
2700 |
2800 |
/ |
Разрушение упорства |
МПа м1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Теплопроводность |
Вт/м.к |
95 |
120 |
23 |
Коэффициент теплового расширения |
10-6.1/°С |
5 |
4 |
4.7 |
Удельная теплоемкость |
Джоуль/г 0к |
0.8 |
0.67 |
/ |
Максимальная температура воздуха |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Модуль упругости |
средний балл |
360 |
410 |
240 |
Разница между SSiC и RBSiC:
1. Процесс спекания отличается. RBSiC предназначен для внедрения свободного Si в карбид кремния при низкой температуре, SSiC образуется за счет естественной усадки при 2100 градусах.
2. SSiC имеет более гладкую поверхность, более высокую плотность и более высокую прочность. Для некоторых уплотнений с более строгими требованиями к поверхности SSiC будет лучше.
3. Разное время использования при разном pH и температуре, SSiC длиннее, чем RBSiC.
Особенности вафельных лодочек из карбида кремния
Превосходная термостойкость и термическая однородность
Мелкое кристаллическое покрытие SiC для гладкой поверхности
Высокая стойкость к химической чистке.
Материал спроектирован таким образом, чтобы не возникало трещин и расслоений.