Карбидокремниевая керамика (SiC) — это современный керамический материал, содержащий кремний и углерод. Зерна карбида кремния можно скрепить вместе путем спекания с образованием очень твердой керамики. Semicorex поставляет керамику из карбида кремния на заказ по вашему требованию.
Приложения
Керамика из карбида кремния сохраняет свойства материала постоянными до температуры выше 1400°C. Высокий модуль Юнга > 400 ГПа обеспечивает превосходную стабильность размеров.
Типичным применением компонентов из карбида кремния является технология динамического уплотнения с использованием подшипников скольжения и механических уплотнений, например, в насосах и приводных системах.
Благодаря улучшенным свойствам карбидокремниевая керамика также идеально подходит для использования в полупроводниковой промышленности.
Вафельные кораблики →
Вафельные лодочки Semicorex изготовлены из спеченной керамики из карбида кремния, которая обладает хорошей устойчивостью к коррозии и отличной устойчивостью к высоким температурам и тепловому удару. Усовершенствованная керамика обеспечивает превосходную термостойкость и стойкость к плазме, одновременно уменьшая количество частиц и загрязнений для носителей пластин высокой емкости.
Реакционно-спеченный карбид кремния
По сравнению с другими процессами спекания, изменение размера реакционного спекания в процессе уплотнения невелико, и можно производить изделия точных размеров. Однако присутствие большого количества SiC в спеченном материале ухудшает высокотемпературные характеристики керамики SiC, полученной реакционным спеканием.
Карбид кремния, спеченный без давления
Карбид кремния, спеченный без давления (SSiC), представляет собой особенно легкую и в то же время твердую высокопроизводительную керамику. SSiC характеризуется высокой прочностью, которая остается практически постоянной даже при экстремальных температурах.
Рекристаллический карбид кремния
Рекристаллизованный карбид кремния (RSiC) представляет собой материалы нового поколения, полученные путем смешивания грубого порошка карбида кремния высокой чистоты и мелкого порошка карбида кремния высокой активности, а после цементации, вакуумного спекания при 2450 ° C для рекристаллизации.
Компания Semicorex предлагает керамику полупроводникового класса для OEM-инструментов для изготовления полупроводников и компонентов для работы с пластинами. Мы уже много лет являемся производителем и поставщиком пленок для покрытия из карбида кремния. Наша керамическая втулка оси имеет хорошее ценовое преимущество и охватывает большую часть рынков Европы и Америки. Мы с нетерпением ждем возможности стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросКомпания Semicorex предлагает керамику полупроводникового класса для OEM-инструментов для изготовления полупроводников и компонентов для работы с пластинами. Мы уже много лет являемся производителем и поставщиком пленок для покрытия из карбида кремния. Наша осевая втулка из карбида кремния имеет хорошее ценовое преимущество и охватывает большую часть рынков Европы и Америки. Мы с нетерпением ждем возможности стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросУсовершенствованные компоненты Semicorex с покрытием из карбида кремния высокой чистоты созданы для того, чтобы выдерживать экстремальные условия эксплуатации в процессе обработки пластин. Наш патрон для полупроводниковых пластин имеет хорошее ценовое преимущество и охватывает многие рынки Европы и Америки. Мы с нетерпением ждем возможности стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросСверхчистые керамические компоненты Semicorex идеально подходят для задач литографии нового поколения и обработки пластин, обеспечивая минимальное загрязнение и исключительно длительный срок службы. Наш вакуумный патрон для пластин имеет хорошее ценовое преимущество и охватывает многие рынки Европы и Америки. Мы с нетерпением ждем возможности стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросПрочные фокусировочные кольца Semicorex для обработки полупроводников предназначены для работы в экстремальных условиях камер плазменного травления, используемых при обработке полупроводников. Наши кольца фокусировки изготовлены из графита высокой чистоты, покрытого плотным, износостойким покрытием из карбида кремния (SiC). Покрытие SiC обладает высокими антикоррозийными и термостойкими свойствами, а также отличной теплопроводностью. Мы наносим SiC тонкими слоями на графит с помощью процесса химического осаждения из паровой фазы (CVD), чтобы продлить срок службы наших фокусировочных колец.
Читать далееОтправить запросФокусное кольцо Semicorex для плазменной обработки специально разработано с учетом высоких требований плазменного травления в полупроводниковой промышленности. Наши передовые компоненты с покрытием из карбида кремния высокой чистоты созданы для того, чтобы выдерживать экстремальные условия окружающей среды и подходят для использования в различных приложениях, включая слои карбида кремния и эпитаксионные полупроводники.
Читать далееОтправить запрос