Горизонтальная камерная печь SIC лодки

Semicorex Горизонтальная камерная печь SIC Лодки представляют собой очень инженерную часть, которая удерживает и несет пластины или субстраты, в то время как они подвергаются высокотемпературной тепловой обработке в горизонтальной камерной печи. Лодка пластины изготовлена ​​из SIC с высокой точкой. карбид кремния (sic), который обеспечивает уникальную комбинацию прочности, термической стабильности и высокой химической устойчивости, которые требуются в процессах полупроводниковых, фотоэлектрических и передовых керамиков. Лодка пластины также действует как жесткая структура для удержания пластин в положении, размерная стабильность и точность пластин не будут утрачены благодаря расширенному воздействию экстремальных температур процесса.

Превосходные свойства карбида из кремния обеспечивают горизонтальную камерную печь SIC SIC лодок превосходное преимущество по сравнению с типичными материалами для лодок пластин, таких как кварц или глинозем. Они могут лучше противостоять нечастым краткосрочным нагревам и циклам охлаждения из-за их высокой температуры плавления, сопротивления теплового шока и механической прочности, независимо от скорости нагрева и охлаждения или крайностей теплового цикла. Поскольку горизонтальная печь полностью зависит от согласованности позиций пластин и воздействия условий процесса, правильное выравнивание пластин обеспечивает последовательный выход и повторяемость процесса. Низкий коэффициент термического расширения означает, что лодка не будет искажаться в течение его срока службы и обеспечить оставшуюся форму и расстояние между пластинами.

Мелкозернистая, плотная структура перекристаллизованного SIC обеспечивает замечательную устойчивость к окислению, коррозии и загрязнению с помощью газов процесса и побочных продуктов. Это делает лодку особенно выгодной для процессов в агрессивных атмосферах, таких как диффузия, окисление, LPCVD и отжиг. Высокая химическая инертность SIC позволяет избежать реакций с поверхностями пластин, тем самым сохраняя чистоту продукта и сводя к минимуму генерации частиц в печи. Лодки SIC могут помочь производителям, которым необходимо соответствовать строгим требованиям чистоты, обеспечивая более чистую среду обработки и улучшенное качество пластины.

Эти лодки могут быть произведены с различными сложными геометриями и частичными размерами с точной обработкой и методами формирования. В конструкциях обычно используются несколько параллельных слотов/канавок, чтобы надежно удерживать пластины в горизонтальной ориентации и равномерно подвергать всю поверхность пластины на тепловые условия. Расстояние между слотом к слоту и углы также могут быть оптимизированы в соответствии с вафонами других диаметров, таких как 150 мм, 200 мм или 300 мм, и прямое воздушный поток во время эффектов обработки, в то же время достигая равномерности температуры для обработки.

Мало того, что горизонтальная камерная печь могут быть спроектированы в стандартных вылетах, но они могут быть разработаны для работы с автоматизированными погрузчиками пластин, что приводит к бесшовной интеграции в современные высокопроизводительные производственные линии. Надежный дизайн также заставит лодки менее вероятной нажимать или ломаться во время обработки и сократить время простоя и затраты на замену.

ТеплопроводностьСиликоновый карбидпредставляет собой еще одно ключевое преимущество, которое облегчает эффективную теплопередачу между пластинами и средой печи. Преимущество заключается в том, что производители могут достичь более равномерных условий обработки и сокращать время цикла, что может повысить эффективность производства. Лодки SIC обеспечивают постоянные и повторяемые результаты, независимо от того, используются ли они для изготовления полупроводниковых пластин, производства солнечных батарей или других передовых материалов при повышенных температурах.

Таким образом, горизонтальная камерная печь SIC лодки являются ключевым компонентом для производителей, стремящихся производить пластины с высокоэффективными, долговечными и устойчивыми к загрязнению носителей пластин. Он имеет механическую прочность, тепловую стабильность и химическую инертность, которая неравна в применении горизонтальных печей. Выбирая кремниевые карбидные лодки, операторы могут использовать лучшее управление процессом, более высокую доходность и минимизировать операционные перерывы из -за технического обслуживания. В целом это обеспечивает более эффективные, экономически эффективные производства.