Вертикальные лодки SiC

Вертикальные лодочки Semicorex SiC — это специальные держатели пластин, спроектированные и изготовленные для обеспечения высочайшей термической, механической и химической стабильности при обработке полупроводников в вертикальной печи. Изготовлен из высокочистогокарбид кремнияМы считаем, что они представляют собой лучший баланс прочности, долговечности и чистоты для очень сложной термической обработки пластин, таких как окисление, диффузия, LPCVD и отжиг в вертикальных печах.

Для обработки в вертикальной печи требуется система поддержки пластин, которая может выдерживать многократное воздействие высоких температур, часто превышающих 1200°C, и оставаться стабильными по размерам без проблем с загрязнением. Вертикальные лодки из карбида кремния отличаются своей надежностью в таких ситуациях благодаря собственным механическим и термическим свойствам рекристаллизованного карбида кремния или карбида кремния, полученного методом CVD. Их чрезвычайно низкий коэффициент теплового расширения обеспечивает минимальную деформацию или деформацию из-за быстрого термоциклирования. Кроме того, высокая теплопроводность обеспечивает наибольшую однородность локальной температуры на всех пластинах, что имеет решающее значение для согласованности толщины слоя, профилей легирования и электрических характеристик между пластинами; важные аспекты крупносерийного производства в полупроводниковой промышленности.

По сравнению с традиционными кварцевыми лодками, вертикальные лодки SiC обеспечивают превосходную механическую прочность и увеличенный срок службы. Кварц имеет тенденцию становиться хрупким и расстекловываться с течением времени, особенно в агрессивных химических процессах, что приводит к более высоким затратам на замену и потенциальным перерывам в производстве. Напротив, карбид кремния сохраняет свою целостность даже после длительного воздействия агрессивных газов, таких как хлор, HCl или аммиак, которые часто встречаются в различных процессах диффузии и LPCVD. Его исключительная стойкость к износу и окислению значительно снижает образование частиц, помогая защитить поверхности пластин от загрязнения и образования дефектов.

Вертикальные лодки SiC также предлагают значительные преимущества с точки зрения сверхчистой обработки. Материал SiC высокой чистоты обрабатывается со строгой тщательностью, чтобы уменьшить количество идентифицируемых следов загрязняющих металлов, которые могут повлиять на рабочие характеристики полупроводниковых устройств. Поверхности SiC Вертикальные лодки хорошо обработаны и имеют прямоугольные элементы, которые сводят к минимуму вероятность выпадения микрочастиц. Поверхности SiC химически инертны, не вступают в реакцию с технологическими газами и поэтому менее подвержены загрязнению. В этом отношении вертикальные лодки SiC хорошо подходят для операций обработки пластин на переднем конце линии (FEOL) и на заднем конце линии (BEOL).

Вертикальные лодки SiC также предлагают гибкость конструкции. Каждая вертикальная лодочка может иметь индивидуальную конструкцию для размещения пластин различных диаметров (150 мм, 200 мм или 300 мм), а количество слотов и расстояние между ними можно использовать в соответствии с технологическими требованиями. Точная механическая обработка и контроль размеров позволяют обеспечить правильное выравнивание пластин и поддержку пластин, сводя к минимуму вероятность появления микроцарапин или трещин под напряжением во время загрузки, обработки и разгрузки. Кроме того, если для конкретного процесса требуется превосходная однородность температуры и/или меньшая тепловая масса, в конфигурации вертикальных лодочек из карбида кремния можно использовать оптимизированную геометрию и конструкцию пазов без ущерба для каких-либо механических свойств.

Еще одним преимуществом является эффективность обслуживания и эксплуатации. Жесткая конструкцияКарбид кремнияВертикальные лодки сокращают время и частоту замены, тем самым сводя к минимуму время простоя или стоимость владения. Термическая стойкость карбида кремния позволяет сократить циклы нагрева и охлаждения и повысить производительность производственных линий. Обслуживание и очистка вертикальных лодок SiC также очень просты; материал может выдерживать большинство обычных процессов влажной или сухой очистки, распространенных на заводах по производству полупроводников, таких как химическая очистка кислотами и высокотемпературный отжиг.

В современную эпоху сложного производства полупроводников, где повышение производительности, контроль загрязнения и стабильность процесса имеют первостепенное значение, вертикальные лодки из карбида кремния предлагают настоящее технологическое преимущество. Они хорошо справляются с физическими и химическими проблемами, связанными с вертикальными печами, и способствуют общей оптимизации процесса, обеспечивая целостность пластин, стабильные результаты и более длительный срок службы оборудования.