SIC вертикальные лодки

Вертикальные лодки SemiCorex SIC представляют собой инженерные пластины, разработанные и изготовленные для обеспечения самой высокой тепловой, механической и химической стабильности для полупроводниковой обработки вертикальной печи. Сконструировано из высокой чистотыСиликоновый карбидМы считаем, что они являются лучшим балансом прочности, долговечности и чистоты для очень продвинутой термообработки пластины, отмеченной как окисление, диффузия, LPCVD и отжиг в системах вертикальных печи.

Среда обработки вертикальной печи требует системы поддержки пластин, которая может выдерживать повторные экспозиции при высокой температуре, часто превышая 1200 ° C, и оставаться дименными стабильными без проблем с загрязнением. SIC вертикальные лодки превосходят их надежность в этих ситуациях из -за внутренних механических и тепловых свойств перекристаллизованного или сердечно -сосудистых карбида кремния. Их чрезвычайно низкий коэффициент термического расширения обеспечивает минимальное ведение борьбы или искажения из -за быстрого теплового цикла. Кроме того, высокая теплопроводность, обеспечивает наибольшую локальную температурную однородность во всех пластинах, что имеет решающее значение для консистенции панмирующих до стай в толщине слоя, профилей легирования и электрических характеристиках; Важные аспекты крупного объема производства в полупроводниковой промышленности.

По сравнению с традиционными кварцевыми лодками, вертикальные лодки SIC обеспечивают превосходную механическую прочность и длительный срок службы. Кварц, как правило, становится хрупким и со временем, особенно в агрессивной химии печи, что приводит к более высоким затратам на замену и потенциальным прерываниям производства. Напротив, карбид кремния сохраняет свою целостность даже после длительного воздействия коррозийных газов, таких как хлор, HCl или аммиак, которые распространены в различных процессах диффузии и LPCVD. Его исключительная устойчивость к износу и окислению значительно снижает генерацию частиц, помогая защитить поверхности пластин от загрязнения и образования дефектов.

SIC вертикальные лодки также предлагают значительную выгоду с точки зрения ультрачистой обработки. Материал SIC с высокой точностью обрабатывается при строгой усердие, чтобы уменьшить идентифицируемые следов загрязняющих металлов, которые могут мешать эксплуатационным характеристикам полупроводниковых устройств. Поверхности вертикальных лодок SIC хорошо отделаны с правыми функциями, которые минимизируют вероятность выброса микрочастиц. Поверхности SIC химически инертны и не реагируют с обработчиками газов и, следовательно, менее подвержены загрязнению. В этом отношении вертикальные лодки SIC хорошо подходят для передней части линии (FEOL) и обработки задней части линии (BEOL).

SIC вертикальные лодки также предлагают гибкость дизайна. Каждая вертикальная лодка может быть специфичной для проектирования для размещения нескольких диаметров пластин (150 мм, 200 мм или 300 мм пластин), а номер слота и расстояние можно использовать для удовлетворения требований процесса. Точная обработка и управление размером позволяют обеспечить надлежащее выравнивание пластины и поддержку пластин, минимизируя вероятность любых микроатлетов или трещин напряжений во время нагрузки, обработки и разгрузки. Кроме того, если для конкретного процесса требуется более высокая температурная однородность и / или меньшая тепловая масса, оптимизированные геометрии и проекты слотов могут быть включены в конфигурации вертикальных лодок SIC, не жертвуя какими -либо механическими свойствами.

Другим преимуществом является обслуживание и эффективность работы. Жесткая конструкцияSicВертикальные лодки сокращают время и частоту замены, тем самым минимизируя время простоя или стоимость владения. Устойчивость к тепловым ударам SIC позволяет провести более короткие циклы отопления и охлаждения для обеспечения более высокой пропускной способности на производственных линиях. Техническое обслуживание или очистка вертикальных лодок SIC также очень просто; Материал может выдержать наиболее традиционные процессы влажной или сухой чистки, распространенные в полупроводниковых тканях, таких как химическая очистка кислотами и высокотемпературная выпекания.

В эту современную эпоху изысканного полупроводникового изготовления, где улучшение урожая, контроль загрязнения и стабильность в процессе имеют все значение, вертикальные лодки SIC дают истинное технологическое преимущество. Они хорошо справляются с физическими и химическими проблемами применения вертикальной печи и способствуют общей оптимизации процессов, обеспечивая целостность пластины, постоянные результаты и более длительный срок службы оборудования.