SIC окислительная трубка

Окислительная трубка SIC SEMICOREX построена из кремниевой карбидной керамики с высокой чистотой, предназначенной для процессов окисления, диффузии или отжига, обычно выполняемых при 1600 ° C. В рамках печи SIC, горизонтальной или вертикальной, это контролируемая среда, в которой пластики нагреваются при окислении. Функция окислительной трубки состоит в том, чтобы обеспечить чистую, равномерную и стабильную среду для термообработки карбида кремниевых карбидов (sic) в изготовлении силовых устройств и широких полупроводников с широкой полосой, в качестве апертуры постоянного процесса окисления, окислительная трубка действует как потребляемый, нацеленный на первое использование. В то время как кварцевые и глиноземные трубки часто обнаруживаются с течением времени в результате переворота, деформации или химического распада, кремниевый карбид имеет исключительную долговечность в отношении проблем с тепловым шоком, улучшения механического свойства и химической инертности. Эти факторы дают кремниевый карбид как отличный вариант для окисляющих трубок в высокой надежности, средах с высокой пропускной способностью.

Используя расширенные формы формирования, такие как холодное изостатическое прессование и безжалостное спекание (или рекристаллизация), Semicorex производит окислительные трубки SIC, которые имеют плотную, газопроличную и однородную микроструктуру. Это обеспечивает силу без риска пористости, позволяя процессу окисления проходить без загрязнения. SIC обладает очень высокой теплопроводности, что позволяет равномерно распределить термическое распределение в зону нагрузки пластины и, таким образом, уменьшить тепловые градиенты, которые могут вызвать дефекты или дефекты дефектов. Сопротивление трубки к кислотам, основаниям и реактивным газам предотвращают нежелательные химические взаимодействия с поверхностью пластины и через среду печи.

Это не ползуется, он не деформируется. Трубка не должна заменяться после нескольких циклов производства-это долгосрочная тепловая циклическая среда, которая в противном случае уничтожала бы меньшие материалы. Следовательно, никакие высокочастотные перерывы не означают низкие эксплуатационные расходы, и это удерживает поток процесса без каких -либо нарушений. Это также снижает риски загрязнения, которые могут легко снизить производительность урожая в полупроводниковых устройствах следующего поколения, где примеси трассировки играют важную роль. Semicorex производит как стандартные, так и полностью индивидуальные размеры трубки для любой используемой платформы печи и рецепта. Внутренний и внешний диаметр, длина, толщина стенки и отделка поверхности - это параметры, которые могут потребовать регулировки для удовлетворения различных конкретных тепловых и механических потребностей; От лабораторных исследований и разработок до больших производственных линий-в каждом случае, где трубка нуждается в обработке, очистке и проверке, чтобы гарантировать производительность.

Контроль качества начинается с проверки размеров, испытаний на плотность материала и проверки надежности теплового цикла для каждой отдельной трубки окисления SIC. Сильная система отслеживания материала регистрирует продукт от его сырой порошковой сцены до окончательного осмотра. Такое качество дает клиентам постоянную руку в долгосрочной стабильности и воспроизводимости наших трубок окисления SIC.

Выберите SemiCorex и получите партнера в поставщике, который объединяет передовую керамическую инженерию с широким контролем процесса и адаптивной технической поддержкой, работая вместе с самого начала. Мы узнаем о вашей конкретной среде для печей, требованиях к процессу и проблемам интеграции, чтобы предложить вам индивидуальные решения, улучшающие результаты вашего процесса, а также время безотказной работы инструмента.

Окислительная трубка Semicorex SIC обеспечивает наилучшие возможные тепловые характеристики с химической стабильностью и механической прочностью. Он становится сердцем любой высокотемпературной системы обработки SIC, предоставляя равномерную тепловую среду во время окисления и отжига передовых полупроводниковых материалов. Для производителей, которые требуют, чтобы компоненты печи были надежными, чистые и длительные, Semicorex будет выбором продукта, поддерживаемым знаниями и опытом, а также стандартом обеспечения ничего, кроме лучшего.