Кремниевые карбинские сканирующие зеркала

Сканирующее сканирующее зеркала с кремниевым кремнивом полукорекса представляют собой высокопроизводительные оптические устройства следующего поколения.  Разработанные для ускоренного мира сканирования, зеркала обеспечивают возможности рулевого управления и сканирования балок последнего поколения для приложений, требующих очень высокой скорости, высокой степени стабильности и точности. Силиконовый карбидСканирующие зеркала имеют уникальные атрибуты из -за их передового керамического производства - зеркала очень легкие, но имеют хорошие механические и тепловые свойства. Таким образом, они считаются идеальными для оптических систем с высокой точностью в таких отраслях, как усовершенствованная литография, космическое наблюдение, лазерное сканирование или высокоскоростное/визуализацию в реальном времени.

Ключевым аспектом функциональности карбинговых сканирующих зеркал является разработка оптимальной конкретной жесткости, которая отвечает требованиям высокоэффективного сканирования.  Низкая плотность и высокий модуль упругости обеспечивают высокий уровень жесткости, что сохраняет структурные свойства, проходя через очень высокие ускорения и динамическое движение.  Чем больше жесткость, тем ниже деформация при подверженности очень высоким нагрузкам, обеспечивая меньшее оптическое искажение при точном позиционировании на высоких скоростях. При высокочастотных сканерах жесткость зеркала улучшит разрешение и время урегулирования напрямую.

Другое конкретное свойство - твердость SIC.  Твердость определяется как способность материала сопротивляться повреждению поверхности, царапинам или износу.  Повышенная твердость означает длительную эксплуатационную жизнь - даже в суровых условиях с абразивными частицами и повторить очистку. Высокая твердость также позволяет зеркалам поддерживать точность своей поверхности в рамках расширенных циклов использования, сохраняя оптические характеристики и снижая требования к техническому обслуживанию.

Тепловое управление является еще одной характеристикой, где сияет карбид кремния. Из-за высокой теплопроводности SIC может рассеивать наращивание тепла от лазерных балок с высокой мощностью или от тепловых изменений окружающей среды. Это поможет минимизировать тепловые градиенты, которые могут создать зеркальную деформацию или смещение, обеспечивая постоянную производительность во время длительного оперативного использования. Высокая тепловая стабильность Vertex сводит к минимуму расширение/сокращение с изменениями температуры, тем самым поддерживая оптическое выравнивание, когда имеет важное значение для размерной стабильности во всех условиях окружающей среды, что часто включает в себя работу, необходимую для космических телескопов или полупроводниковых литографических систем.

Чтобы облегчить производительность и возможности вокруг его применения, есть много вариантов покрытия поверхностного покрытия. Например, использование покрытия CVD SIC может улучшить поверхностную однородность, твердость и погод. В то время как кремниевые покрытия обеспечивают лучшую отражающую интерфейс для получения дополнительных оптических покрытий, таких как сама зеркальная поверхность, и предоставляют возможности для оптимизации в зависимости от определенных диапазонов длины волны, уровней лазерной мощности и атмосферных условий. Вы можете гарантировать, что зеркало (например) достигает конкретной оптической и долговечной потребности своего предполагаемого применения с этими дополнительными поверхностными покрытиями.

Еще одним значительным преимуществом кремниевых карбид -сканирующих зеркал является настройка, включая форму и геометрию. Зеркала могут быть настроены как плоские, сферические, а асферические поверхности и высокая точность в форме обычно ожидается в зависимости от оптической конструкции. Включая легкие задние конструкции, масса зеркал может быть дополнительно уменьшена без какой -либо потери жесткости, что позволяет более быстрое сканирование и более быстрое время реакции системы. Все эти функции предоставляют возможности для индивидуальной формирования, отделки и покрытий для каждого зеркала в зависимости от оптических и механических потребностей применения.

Сканирующее зеркала карбида кремния особенно выгодны в космических оптических системах, где экономия, жесткость и тепловая стабильность массы помогают обеспечить выживание, а также производительность на орбите. В литографии размерная стабильность и высокая жесткость зеркал SIC обеспечивают позиции нанометра, которые имеют решающее значение для производства полупроводников. В высокопроизводных системах лазерного сканирования тепло диспергирующие качества и долговечность поверхности обеспечивают долгосрочную стабильность с течением времени и минимальные искажения.

Сканирующее сканирующее зеркала из кремния в полукорексе обеспечивает непревзойденную комбинацию легкой конструкции, высокой жесткости, высокой твердости, высокой теплопроводности и тепловой стабильности. Уникальные варианты настраиваемых форм, точной поверхности и инновационных покрытий, включая CVD SIC и открытые двери кремния, а также добавляют характеристики производительности и надежность для наиболее требовательных применений оптического сканирования.