SIC Tipes

Semicorex SIC трубы являются керамическими деталями для систем полупроводниковой печи.  Они обладают уникальными свойствами, которые включают высокую тепловую передачу и высокотемпературную и химическую стойкость, которая требуется при полупроводниковых приложениях, где существуют экстремальные высокотемпературные и химические условия окружающей среды, которые ожидаются, и где свойства являются желательными - долговечность, энергоэффективность и уникальные условия стабильных процессов, которые позволяют использовать экономические в расширенных условиях изготовления полуконтрола.

Semicorex SIC Porpes используют мелкозернистую на высокую чистотуСиликоновый карбидЭто производится, чтобы иметь исключительную высокотемпературную механическую стабильность в результате передовых методов и методов рекристаллизации. Обеспечение высокопроизводительного SIC приводит к исключительной механической прочности и удержанию тепловой стабильности при высоких рабочих температурах. SIC имеет исключительную твердость, которая смягчает износ или потенциальную деформацию.  Кроме того, атрибуты, связанные со свойствами SIC, являются низким топливами для теплового расширения, являются полезными, поскольку они ограничивают тепловое напряжение, поскольку будут требования к велосипеде в этом материале между экстремальным высоким и низким рабочим теплом. Во всех этих соображениях они имеют особую утилиту для идеальных применений в диффузионных печи, окислительных печи и систем LPCVD/PECVD для поддержания максимального стабильного процесса условий для устранения или ограничения дефектов, которые также являются показателями, связанными с планами или материалом с высоко стабильными, даже условиями процесса.

Другой важной утилитой труб SIC являются высокие профили теплопроводности в определенных условиях и применимые конструкции печи для получения высоких показателей проводящего и, что важно, равномерное и устойчивое распределение температуры по процессу.  Это надежное поведение позволяет веществам подвергаться воздействию полуэкватных распределений температуры в разумных временных интервалах и дополнительно ограничивает тепловые градиенты, чтобы смягчить искаженные и/или дефектные пластины, улучшая более равномерные условия осаждения пленки.

Химическая стабильность и сопротивление являются еще одним важным фактором производительности.  В полупроводниковых процессах печи пробирки подвергаются влиянию высокореактивных газов, включая кислород, водород, аммиак и все галогены, которые могут быстро ухудшить обычные материалы. Плотная и непористая микроструктура, наряду с химически инертной природой SIC, защищает ее от окисления и коррозии при обеспечении эксплуатационных и механических характеристик в экстремальной среде процесса.  Долговечность печей SIC помогает им поддерживать целостность формы и точности размерных в течение длительных периодов времени, что важно для управления процессами и стабильности.

Трубы SIC могут быть изготовлены в широком диапазоне размеров и толщины стен, геометрически формируемые, чтобы соответствовать конструкциям печи и потребностей в процессе.  Точные характеристики точной обработки также поддерживаются при проектировании и производстве труб SIC, так что рабочие допуски могут быть жесткими, с гладкими внутренними поверхностями и превосходной концентричностью для поддержания баланса потока ламинарного газа и однородных тепловых профилей. Поливка поверхности и покрытия могут быть предоставлены в качестве вариантов обработки, которые повысят производительность за счет снижения генерации частиц и повышения коррозионной стойкости.

SIC Трубы имеют четкие преимущества в эксплуатации и затратах по сравнению с альтернативными материалами, такими как кварц или глиноземные трубы.  Первоначальная стоимость компонентов SIC может быть немного выше, но срок службы продукта, снижение поломки и более низкие требования к техническому обслуживанию приводят к общей стоимости владения, что является более низкой затратами, чем альтернативные материалы и трубы.

В заключение, SemicorexSicТрубы являются лучшим вариантом для полупроводниковых печей, поскольку они обеспечивают наилучшие тепловые характеристики, механическую прочность, химическую стойкость и надежность для требовательных производственных сред. Этот материал улучшает стабильность процесса и помогает в дальнейшей экономии затрат и эффективности (то есть более низкое потребление энергии). SIC Трубы являются фундаментальным материалом для современного полупроводникового изготовления.