Технологическая трубка из карбида кремния

Технологическая трубка из карбида кремния Semicorex является важнейшим компонентом в сфере производства полупроводников, специально разработанным для использования в вертикальных печах, используемых в различных приложениях обработки полупроводников, таких как RTP, диффузия. Эта специализированная трубка играет ключевую роль в обеспечении контролируемой и точной термической обработки полупроводниковых пластин во время их прохождения через критические производственные процессы.

Эта технологическая трубка из карбида кремния, изготовленная из карбида кремния высокой чистоты, обладает исключительной теплопроводностью, устойчивостью к экстремальным температурам и исключительной механической прочностью. Уникальные свойства материала делают его идеальным выбором для применений, требующих повышенных температур и агрессивных химических сред, обычно встречающихся при обработке полупроводников.

В вертикальной печи технологическая трубка из карбида кремния обеспечивает защитную и контролируемую атмосферу для полупроводниковых пластин, когда они подвергаются таким процессам, как RTP. RTP включает в себя быстрые циклы нагрева и охлаждения, необходимые для активации легирующих примесей, отжига и других термических обработок, имеющих решающее значение для изготовления полупроводниковых устройств. Прочная конструкция технологической трубки из карбида кремния обеспечивает долговечность и надежность в таких сложных термических и химических средах, способствуя общей эффективности и точности процесса производства полупроводников.