Покрытие SiC представляет собой тонкий слой на токоприемнике, полученный методом химического осаждения из паровой фазы (CVD). Карбид кремния имеет ряд преимуществ перед кремнием, в том числе 10-кратную напряженность электрического поля пробоя, 3-кратную ширину запрещенной зоны, что обеспечивает материалу высокую температурную и химическую стойкость, отличную износостойкость, а также теплопроводность.
Semicorex предоставляет индивидуальное обслуживание, помогает вам внедрять инновации с использованием компонентов, которые служат дольше, сокращают время цикла и повышают производительность.
Покрытие SiC обладает рядом уникальных преимуществ.
Устойчивость к высоким температурам: токоприемник с CVD-покрытием SiC может выдерживать высокие температуры до 1600°C без значительной термической деградации.
Химическая стойкость: покрытие из карбида кремния обеспечивает превосходную стойкость к широкому спектру химикатов, включая кислоты, щелочи и органические растворители.
Износостойкость: покрытие SiC придает материалу превосходную износостойкость, что делает его пригодным для применений, связанных с высоким износом.
Теплопроводность: покрытие CVD SiC придает материалу высокую теплопроводность, что делает его пригодным для использования в высокотемпературных приложениях, требующих эффективной теплопередачи.
Высокая прочность и жесткость: токоприемник с покрытием из карбида кремния придает материалу высокую прочность и жесткость, что делает его пригодным для применений, требующих высокой механической прочности.
Покрытие SiC используется в различных областях применения.
Производство светодиодов: Токоприемник с покрытием CVD SiC используется при производстве различных типов светодиодов, включая синие и зеленые светодиоды, УФ-светодиоды и светодиоды с глубоким УФ-излучением, благодаря его высокой теплопроводности и химической стойкости.
Мобильная связь: токоприемник с CVD-покрытием SiC является важной частью HEMT для завершения эпитаксиального процесса GaN-on-SiC.
Обработка полупроводников: Токоприемник с CVD-покрытием SiC используется в полупроводниковой промышленности для различных применений, включая обработку пластин и эпитаксиальное выращивание.
Графитовые компоненты с покрытием SiC
Изготовленное из графита с покрытием из карбида кремния (SiC), покрытие наносится методом CVD на определенные марки графита высокой плотности, поэтому оно может работать в высокотемпературной печи при температуре более 3000 ° C в инертной атмосфере и 2200 ° C в вакууме. .
Особые свойства и малая масса материала обеспечивают высокую скорость нагрева, равномерное распределение температуры и исключительную точность управления.
Данные о материале покрытия Semicorex SiC
Типичные свойства |
Единицы |
Ценности |
Структура |
|
FCC β-фаза |
Ориентация |
Фракция (%) |
111 предпочтительный |
Объемная плотность |
г/см³ |
3.21 |
Твердость |
Твердость по Виккерсу |
2500 |
Теплоемкость |
Дж кг-1 К-1 |
640 |
Тепловое расширение 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6К-1 |
4.5 |
Модуль Юнга |
Gpa (изгиб 4 пт, 1300 ℃) |
430 |
Размер зерна |
мкм |
2~10 |
Температура сублимации |
℃ |
2700 |
Фелексуральная сила |
МПа (RT 4-точечный) |
415 |
Теплопроводность |
(Вт/мК) |
300 |
Выводы. Токоприемник с CVD-покрытием SiC представляет собой композиционный материал, сочетающий в себе свойства токоприемника и карбида кремния. Этот материал обладает уникальными свойствами, среди которых высокая температурная и химическая стойкость, отличная износостойкость, высокая теплопроводность, высокая прочность и жесткость. Эти свойства делают его привлекательным материалом для различных высокотемпературных применений, включая обработку полупроводников, химическую обработку, термообработку, производство солнечных батарей и производство светодиодов.
Идеально подходящий для эпитаксии графита и процессов обработки пластин, сверхчистый монокристаллический кремниевый эпитаксиальный токоприемник Semicorex обеспечивает минимальное загрязнение и обеспечивает исключительно длительный срок службы. Наша продукция имеет хорошее ценовое преимущество и охватывает многие рынки Европы и Америки. Мы с нетерпением ждем возможности стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросВы можете быть уверены, что купите полупроводниковый носитель пластин для оборудования MOCVD на нашем заводе. Носители полупроводниковых пластин являются важным компонентом оборудования MOCVD. Они используются для транспортировки и защиты полупроводниковых пластин в процессе производства. Полупроводниковые держатели пластин для оборудования MOCVD изготовлены из материалов высокой чистоты и предназначены для сохранения целостности пластин во время обработки.
Читать далееОтправить запросMOCVD Susceptor Semicorex с графитовой подложкой из карбида кремния — идеальный выбор для производителей полупроводников, которым нужен высококачественный носитель, способный обеспечить превосходную производительность и долговечность. Его усовершенствованный материал обеспечивает равномерный тепловой профиль и ламинарную структуру потока газа, обеспечивая высококачественные пластины.
Читать далееОтправить запросПолупроводниковые носители Semicorex MOCVD для полупроводниковой промышленности — это первоклассные носители, разработанные для использования в полупроводниковой промышленности. Его материал высокой чистоты обеспечивает равномерный тепловой профиль и ламинарный характер потока газа, что позволяет получать пластины высокого качества.
Читать далееОтправить запросНосители пластин Semicorex с покрытием SiC для MOCVD — это высококачественные носители, предназначенные для использования в процессе производства полупроводников. Его высокая чистота, отличная коррозионная стойкость и равномерный термический профиль делают его отличным выбором для тех, кто ищет носитель, способный выдержать требования процесса производства полупроводников.
Читать далееОтправить запросSemicorex — это имя, которому доверяют, в полупроводниковой промышленности, поставляющее высококачественные планетарные токоприемники MOCVD для полупроводников. Наш продукт разработан для удовлетворения конкретных потребностей производителей полупроводников, которым нужен носитель, способный обеспечить превосходную производительность, стабильность и долговечность. Свяжитесь с нами сегодня, чтобы узнать больше о нашей продукции и о том, как мы можем помочь вам в удовлетворении ваших потребностей в производстве полупроводников.
Читать далееОтправить запрос