Приемник Диск

Диск Semicorex Susceptor Disc является незаменимым инструментом при химическом осаждении металлов и органических соединений из паровой фазы (MOCVD), специально разработанным для поддержки и нагрева полупроводниковых пластин во время критического процесса осаждения эпитаксиального слоя. Susceptor Disc играет важную роль в производстве полупроводниковых устройств, где точность выращивания слоев имеет первостепенное значение. Приверженность Semicorex обеспечению лидирующего на рынке качества в сочетании с конкурентоспособными финансовыми соображениями укрепляет наше стремление к установлению партнерских отношений для выполнения ваших требований по транспортировке полупроводниковых пластин.

Отправить запрос

Описание продукта

Изготовленный из графита высокой чистоты и покрытый слоем карбида кремния (SiC) с использованием метода MOCVD, диск Semicorex Susceptor Disc сочетает в себе исключительные термические свойства с замечательной химической стабильностью. Покрытие из карбида кремния обеспечивает превосходную устойчивость к высоким температурам и коррозионным воздействиям, что имеет решающее значение для сохранения целостности токоприемника в сложных условиях.

Кроме того, покрытие SiC на токоприемнике повышает его теплопроводность, что обеспечивает быстрое и равномерное распределение тепла, необходимое для последовательного эпитаксиального роста. Он эффективно поглощает и излучает тепло, обеспечивая стабильную и равномерную температуру, необходимую для осаждения тонких пленок. Эта однородность жизненно важна для получения высококачественных эпитаксиальных слоев, которые имеют основополагающее значение для функциональности и производительности современных полупроводниковых устройств.

Конструкция Susceptor Disc также решает проблему теплового расширения. Минимальный коэффициент теплового расширения обеспечивает прочную связь с эпитаксиальными слоями, снижая риск растрескивания из-за термоциклирования. Эта особенность в сочетании с высокой температурой плавления Susceptor Disc и превосходной стойкостью к окислению обеспечивает надежную работу в экстремальных условиях.

Благодаря этим передовым свойствам диск Susceptor Disc не только соответствует, но и превосходит строгие требования современных приложений MOCVD, обеспечивая надежное, высокопроизводительное решение, которое повышает общую эффективность и производительность процесса эпитаксиального выращивания.