Солнечная графитовая лодка

Semicorex Solar Graphite Boat служит надежной платформой для удержания полупроводниковых пластин во время различных термических процессов, таких как отжиг, диффузия и осаждение. Прочная конструкция и исключительная термостойкость делают Solar Graphite Boat незаменимым инструментом для производства полупроводников, исследовательских лабораторий и других передовых промышленных применений.

Разработанная с учетом универсальности, лодка Solar Graphite Boat может быть настроена в соответствии с конкретными требованиями заказчика. Независимо от того, покрыты ли они карбидом кремния (SiC) для повышения долговечности и устойчивости к химической коррозии или оставлены без покрытия для применений, где чистота имеет первостепенное значение, каждая лодка Solar Graphite Boat тщательно изготовлена ​​для обеспечения стабильных характеристик и долговечности.

Ключевые особенности лодки Solar Graphite включают в себя:

Исключительная термическая стабильность: выдерживает экстремальные температуры, возникающие при обработке полупроводников, обеспечивая равномерное распределение тепла и точный контроль тепловых циклов.

Конструкция из графита высокой чистоты: изготовлена ​​из графитовых материалов премиум-класса для минимизации загрязнения и сохранения целостности полупроводниковых пластин.

Прецизионное проектирование: разработано для установки пластин различных размеров и конфигураций, с точными размерами и обработкой поверхности, что обеспечивает безопасное обращение с пластинами и минимальное их повреждение.

Детали из графита с покрытием TaC играют ключевую роль в оптимизации ключевых методов обработки полупроводников, включая диффузионные процессы, окислительный отжиг, химическое осаждение из паровой фазы низкого давления (LPCVD) и химическое осаждение из паровой фазы с плазменным усилением (PECVD). Облегчая точный контроль температуры и обеспечивая однородность всех подложек, графитовые детали с покрытием TaC вносят значительный вклад в улучшение качества продукции и эффективности производства.

Детали Semicorex с графитовым покрытием TaC тщательно разработаны с учетом строгих требований производства полупроводников. От улучшения процессов диффузии до улучшения качества и эффективности различных методов осаждения, графитовые детали с покрытием TaC являются незаменимыми активами в стремлении к совершенству в производстве полупроводников.