Керамическая вафельная лодка из карбида кремния (SiC)

Керамическая вафельная лодка Semicorex SiC отличается уникальным сочетанием свойств материала, которые делают ее идеально подходящей для суровых условий полупроводникового и фотоэлектрического производства:

Непоколебимая высокотемпературная стабильность:Обработка пластин часто связана с экстремальными температурами, которые доводят традиционные материалы до предела своих возможностей. Керамическая вафельная лодка из карбида кремния демонстрирует исключительную устойчивость к высоким температурам, сохраняя структурную целостность и механические свойства даже при температурах, превышающих 1650°C (3000°F). Это позволяет использовать их в таких важных процессах, как диффузия и отжиг, где точный контроль температуры и стабильность пластин имеют первостепенное значение.

Неприступная крепость против коррозии:Жесткие химикаты и агрессивные вещества, используемые в производстве полупроводников и фотоэлектрических элементов, представляют собой серьезную угрозу целостности материала. Керамические вафельные лодочки из карбида кремния обладают превосходной коррозионной стойкостью по сравнению с большинством металлов и другой керамики, выдерживая длительное воздействие широкого спектра кислот, растворителей, солей и органических соединений. Эта инертность обеспечивает долговечность лодки, предотвращает загрязнение от разрушения материала и гарантирует чистоту критических этапов процесса.

Легкая чистота для бескомпромиссной чистоты:Поддержание чистоты поверхностей пластин имеет первостепенное значение для достижения высокого выхода и производительности устройств. Непористая поверхность керамической вафельной лодочки из карбида кремния и устойчивость к химическому воздействию делают ее исключительно легкой в ​​очистке. Загрязнения легко удаляются, что предотвращает перекрестное загрязнение между процессами и обеспечивает чистую окружающую среду, необходимую для высокопроизводительных полупроводниковых и фотоэлектрических устройств.

Устойчивость к тепловым и механическим воздействиям:Обработка пластин часто включает в себя быстрые изменения температуры и механическое обращение, которые могут вызвать напряжение и повредить чувствительные материалы. Прочные механические свойства керамической вафельной лодочки из карбида кремния, включая высокую твердость и исключительную термостойкость, обеспечивают ее структурную целостность даже в сложных условиях. Это сводит к минимуму риск образования частиц или повреждения пластин, способствуя повышению производительности и стабильному качеству продукции.

Транспортировка без проскальзывания для неизменной точности:Точное обращение с пластинами имеет решающее значение для предотвращения повреждений и обеспечения стабильной обработки. Присущая SiC Ceramic Wafer Boat смазывающая способность и низкий коэффициент трения создают естественную поверхность без скольжения. Это обеспечивает плавное и контролируемое движение пластин во время загрузки и выгрузки, сводя к минимуму риск появления царапин, сколов или других повреждений, которые могут поставить под угрозу целостность пластины.