Керамические вафельные лодочки из карбида кремния

Премиальный выбор материалов

Отличные свойства карбидокремниевой керамики Semicorex.вафельные корабликиобусловлены высококачественным сырьем. Керамические лодочки из карбида кремния, изготовленные из материала SiSiC полупроводникового класса и покрытые CVD-покрытием SiC, обладают следующими превосходными свойствами.

1. Сверхвысокая чистота, отсутствие металлических примесей.

Примеси субстрата: <100 ppm

Примеси в CVD-покрытии SiC: <1 ppm

2. Превосходная термическая стабильность

Керамические вафельные лодочки из карбида кремния способны стабильно работать в условиях высоких температур 1250 ℃, обеспечивая минимальную деформацию и сопротивление ползучести.

3.Высокая механическая прочность

Карбид кремнияобладает высокой твердостью и износостойкостью, что позволяет керамическим лодочкам из карбида кремния Semicorex противостоять царапинам, истиранию и повреждениям, обеспечивая тем самым хорошие характеристики при длительной эксплуатации и устойчивость к повреждениям.

4. Исключительная коррозионная стойкость

Поскольку карбид кремния устойчив к коррозии под действием сильных кислот и щелочей, керамические лодочки из карбида кремния Semicorex могут сохранять свою структурную целостность и функциональные характеристики даже в условиях высокой коррозии.

Оптимизированная конструкция конструкции

Лодочки для керамических пластин Semicorex из карбида кремния предназначены для пакетной обработки пластин. Их оптимизированная структурная конструкция обеспечивает стабильную поддержку пакетной пластины и постоянную стабильность процесса для каждой пластины.

1,3-стоечная вертикальная опорная конструкция

Вертикальная структура лодочек для керамических пластин из карбида кремния Semicorex позволяет им идеально сочетаться с вертикальными печами. Благодаря такой конструкции керамические вафельные лодочки из карбида кремния emicorex могут способствовать гомогенной циркуляции технологических газов и равномерному распределению тепловой энергии внутри высокотемпературной печи.

2. Равномерно распределенные щелевые зажимы

Лодочки для керамических пластин Semicorex из карбида кремния оснащены множеством прецизионно обработанных пазовых зажимов на опорных стойках. Их равномерно расположенные щелевые зажимы обеспечивают необходимое расстояние между ними, что позволяет лодочкам для керамических пластин из карбида кремния надежно закреплять полупроводниковые пластины, тем самым способствуя улучшению стабильности результатов термической обработки пластин.

Обладая отличными характеристиками и функциями, керамические лодочки для пластин Semicorex из карбида кремния широко используются в основных процессах производства полупроводниковых пластин, таких как окисление, диффузия, ионная имплантация и высокотемпературный отжиг.