Керамическая вафельная лодка из карбида кремния

Semicorex предлагает вафельные лодочки, пьедесталы и нестандартные держатели вафельных пластин как для вертикальных/столбчатых, так и для горизонтальных конфигураций. Мы являемся производителями и поставщиками пленок для покрытий из карбида кремния в течение многих лет. Наши керамические вафельные лодки из карбида кремния имеют хорошее ценовое преимущество и охватывают большинство европейских и американских рынков. Мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.

Отправить запрос

Описание продукта

Керамическая тарелка для пластин Semicorex из карбида кремния — идеальное решение для обработки и защиты пластин в производстве полупроводников.
Наши керамические вафельные лодки из карбида кремния изготовлены из высококачественного материала, покрытого слоем карбида кремния (SiC) с использованием метода CVD, которые обладают хорошей устойчивостью к коррозии и отличной устойчивостью к высоким температурам и тепловому удару. Усовершенствованная керамика обеспечивает превосходную термостойкость и стойкость к плазме, а также уменьшает количество частиц и загрязняющих веществ для носителей пластин большой емкости.

Параметры керамической вафельной лодки из карбида кремния

Технические характеристики
Индекс	Единица	Ценить
Название материала		Реакция спеченного карбида кремния	Спеченный карбид кремния без давления	Рекристаллизованный карбид кремния
Состав		РБСиК	SSiC	R-SiC
Объемная плотность	г/см3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Предел прочности при изгибе	МПа (кфунт/кв. дюйм)	338(49)	380(55)	80-90 (20°С)90-100(1400°С)
Прочность на сжатие	МПа (кфунт/кв. дюйм)	1120(158)	3970(560)	> 600
твердость	Кнуп	2700	2800	/
Нарушение упорства	МПа м1/2	4.5	4	/
Теплопроводность	Вт/м.к	95	120	23
Коэффициент температурного расширения	10^-6.1/°С	5	4	4.7
Удельная теплоемкость	Джоуль/г 0k	0.8	0.67	/
Максимальная температура воздуха	℃	1200	1500	1600
Модуль упругости	ГПа	360	410	240

Разница между SSiC и RBSiC:

1. Процесс спекания отличается. RBSiC предназначен для внедрения свободного Si в карбид кремния при низкой температуре, SSiC образуется путем естественной усадки при 2100 градусах.

2. SSiC имеет более гладкую поверхность, более высокую плотность и более высокую прочность, для некоторых уплотнений с более строгими требованиями к поверхности SSiC будет лучше.

3. Разное время использования при разном pH и температуре, SSiC длиннее, чем RBSiC.

Особенности керамической вафельной лодки из карбида кремния

Превосходная термостойкость и тепловая однородность
Мелкие кристаллы SiC с покрытием для получения гладкой поверхности
Высокая стойкость к химической очистке
Материал разработан таким образом, чтобы не возникало трещин и расслаивания.

Горячие Теги: Керамическая вафельная лодка из карбида кремния, Китай, Производители, Поставщики, Фабрика, Индивидуальные, Массовые, Усовершенствованные, Прочные