Карбидокремниевая керамикаЛопасти обычно устанавливаются рядом с отверстием печи или технологической камерой, причем один конец закреплен, а другой конец выступает в печь или технологическую камеру. Во время обработки керамические лопатки из карбида кремния точно позиционируют держатель пластин, несущий пластины, в заданное место внутри печи или технологической камеры. После обработки консольные лопасти извлекают носитель, выносят его из печи или камеры и передают роботизированной руке для следующего этапа обработки.

Преимущества керамических лопаток из карбида кремния Semicorex

1. Превосходные свойства и надежное качество.

Керамические лопасти Semicorex из карбида кремния обеспечивают превосходную высокотемпературную стабильность, высокую прочность, высокую твердость, химическую стабильность и низкий коэффициент теплового расширения. Благодаря этим превосходным свойствам керамические лопасти Semicorex из карбида кремния могут длительное время выдерживать сложные условия эксплуатации, такие как высокие температуры, сильная коррозия, большие нагрузки и частые механические операции.

2. Точная поддержка и транспортировка.

Опираясь на превосходные характеристики поддержки и транспортировки, Semicorexкерамические лопатки из карбида кремнияможет точно зафиксировать держатели пластин на месте, чтобы обеспечить концентричность пластин относительно труб печи, что значительно снижает несогласованность процесса, вызванную тряской пластин и несоосностью во время процесса.

3. Высокоэффективная автоматизированная работа.

Керамические лопатки Semicorex из карбида кремния обычно работают в сочетании с роботизированными автоматизированными системами загрузки и перемещения для достижения быстрой загрузки и выгрузки пластин. Это значительно сокращает технологические циклы в производстве полупроводников и фотоэлектрических элементов, повышает эффективность производства, снижает затраты на ручные операции и риски ошибок.

Применение керамических лопастей из карбида кремния Semicorex

1. Производство фотоэлектрических элементов

Керамические лопатки Semicorex из карбида кремния хорошо подходят для термических процессов фотоэлектрических элементов, таких как диффузия, LPCVD и PECVD элементов TOPCon и PERC. Достигая однородности и стабильности процесса, эти лопатки способствуют повышению эффективности преобразования фотоэлектрических элементов.

2. Производство полупроводниковых чипов

Керамические лопатки из карбида кремния Semicorex, выступающие в качестве важнейших поддерживающих и транспортирующих компонентов, широко применяются в таких процессах, как литография, травление и осаждение при производстве полупроводниковых чипов, обеспечивая стабильный перенос и точное позиционирование пластин.