Керамические консольные лопасти из карбида кремния

Семикорекскерамические консольные лопасти из карбида кремнияпроизводятся путем высокотемпературного спекания необожженного тела, напечатанного на 3D-принтере в один этап, с последующей обработкой покрытия методом химического осаждения из паровой фазы. Во время фактической эксплуатации керамические консольные лопасти из карбида кремния приводятся в действие механическими системами автоматизации для плавного и стабильного перемещения компонентов, несущих пластины, в оборудование для высокотемпературной обработки и из него (например, печи окисления, диффузионные печи, печи CVD и т. д.). Эти компоненты из карбида кремния могут эффективно обеспечивать точность соосности между пластинами и трубами печи, гарантируя тем самым однородность и стабильность процесса во время критических процессов, таких как диффузия, окисление и химическое осаждение из паровой фазы.

Характеристики консольных керамических лопастей Semicorex из карбида кремния

1. Низкий уровень загрязнения:

Семикорекскарбид кремниякерамические консольные лопасти, обработанные высокоточной обработкой, соответствуют стандартам отсутствия пыли и частиц. Их матрицы имеют содержание примесей, строго контролируемое ниже 300 ppm, а содержание примесей в CVD-покрытии из карбида кремния даже ниже 5 ppm.

2. Высокая температурная стабильность:

Благодаря превосходной стойкости к высоким температурам и термостойкости карбида кремния, керамические консольные лопасти Semicorex из карбида кремния могут длительное время сохранять свою структурную стабильность при высоких температурах до 1250°C, не деформируясь, не размягчаясь и не повреждаясь, вызванные высокой температурой.

3. Исключительная грузоподъемность:

Керамические консольные лопасти Semicorex из карбида кремния обеспечивают исключительную грузоподъемность благодаря уникальной конструкции и превосходным свойствам материала (высокая механическая прочность и твердость). Эта исключительная грузоподъемность позволяет им выдерживать вес больших партий пластин для удовлетворения потребностей массового производства, что эффективно повышает эффективность пакетной обработки пластин.

4. Замечательная коррозионная стойкость:

Керамические консольные лопатки Semicorex из карбида кремния обладают превосходной коррозионной стойкостью к кислороду, хлору и другим агрессивным веществам, присутствующим при высоких температурах в процессах производства полупроводников и фотоэлектрических элементов. Эта превосходная производительность имеет решающее значение для обеспечения бесперебойной работы производственных процессов, позволяя избежать потерь и времени, вызванных повреждением керамических консольных лопастей из карбида кремния.

Метод упаковки керамических консольных лопаток Semicorex из карбида кремния