Кассетные лодки из карбида кремния

Семикорекскассетные лодки из карбида кремнияявляются незаменимыми несущими компонентами, благодаря своей стабильной и высокопрочной конструкции безопасно и точно удерживают, перемещают и обрабатывают несколько полупроводниковых пластин. Они широко используются в различных высокотемпературных полупроводниковых процессах для обеспечения оптимального распределения потоков тепла и газа для стабильных результатов обработки.

Тщательно отобранное сырье

Кассетные лодочки из карбида кремния Semicorex, изготовленные с высокой точностью из порошка карбида кремния полупроводникового качества путем высокотемпературного спекания, обладают следующими превосходными свойствами.

1.Сверхвысокая чистота:Содержание примесей в подложке контролируется на уровне ниже 100 ppm, а уровень примесейКарбид кремния CVDпокрытие может достигать менее 1 ppm.

2. Надежная коррозионная стойкость:Керамика из карбида кремния обеспечивает высокую коррозионную стойкость и устойчива к коррозии от большинства кислот (таких как соляная кислота, серная кислота и плавиковая кислота), щелочей (таких как каустическая сода), растворителей и окислительных сред.

3. Исключительная способность управления температурным режимом:Обладая исключительной термостойкостью и низким коэффициентом теплового расширения, кассетные лодочки из карбида кремния могут сохранять свои химические свойства и механическую прочность даже при длительном воздействии на них условий эксплуатации при высокой температуре около 1250 °C.

Прецизионная конструкция

1. Горизонтальная рамная конструкция:Горизонтальная рамная конструкция кассетных лодочек из карбида кремния Semicorex идеально подходит для горизонтальных высокотемпературных печных труб.

2. Равномерно расположенные пазы:Благодаря многочисленным равномерно расположенным пазам кассетные лодочки Semicorex из карбида кремния надежно удерживают пластину на месте, что может значительно предотвратить нежелательные царапины, истирание и повреждения, возникающие в результате смещения пластины, тем самым эффективно обеспечивая стабильность полупроводникового процесса и выход пластины.

3. Многослотовая конструкция:Несколько слотов, предназначенных для размещения нескольких пластин, позволяют кассетным лодочкам Semicorex из карбида кремния повысить производительность обработки одной партии и общую эффективность производства.

4. Открытая архитектура:Кассетные лодочки Semicorex из карбида кремния оснащены продуманной открытой архитектурой, которая помогает добиться равномерного распределения газа и достаточного реакционного контакта, что тем самым эффективно сводит к минимуму противоречивые результаты процесса.