Консольные лопатки из карбида кремния

Консольные лопатки Semicorex из карбида кремния обычно используются с горизонтальными лодочками для пластин в печах высокотемпературной обработки. Они могут обеспечить точную и плавную передачу подложек пластин в печные трубы и из них, обеспечивая надежную поддержку стабильности и производительности производства полупроводников. Консольные лопатки Semicorex из карбида кремния, специально разработанные для высокотемпературной обработки пластин, стабильно работают при температуре около 1250°C в суровой рабочей атмосфере, состоящей из кислорода (реакционный газ), азота (защитный газ) и небольшого количества хлористого водорода.

Выбор материала на высоком уровне

Продукция премиум-класса изготавливается из высококачественного сырья. Semicorex использует сырье из карбида кремния высокой чистоты, чтобы гарантировать высочайшее качество наших консольных лопастей из карбида кремния во всей отрасли. Их основания изготовлены из высококачественного карбида кремния, связанного реакцией, с содержанием примесей, контролируемым ниже 100 ppm, а их поверхности покрыты CVD-покрытием SiC, где содержание примесей не превышает 1 ppm. Этот высококачественный материал, из которого изготовлены консольные лопасти Semicorex из карбида кремния, обеспечивает превосходные свойства, перечисленные ниже.

1. Сверхвысокая чистота:Семикорекскарбид кремнияКонсольные лопатки отличаются высокой чистотой и не выделяют нежелательных примесей во время работы, что принципиально исключает загрязнение пластин и технологических печей.

2. Стабильная термическая стабильность:Консольные лопатки Semicorex из карбида кремния надежно работают при температуре 1250°C и выдерживают резкие перепады температур при входе и выходе из печи, не подвергаясь какой-либо деформации или растрескиванию.

3. Превосходная механическая прочность:Консольные лопасти Semicorex из карбида кремния обладают высокой твердостью и прочностью и могут выдерживать износ и царапины во время частых операций толкания и вытягивания.

4. Надежная коррозионная стойкость:Семикорексконсольные лопатки из карбида кремниямогут противостоять серьезной коррозии под действием сильных щелочей и кислот благодаря своей замечательной химической стабильности.

Продуманный дизайн и точная обработка

Семикорексиспользует интегрированную технологию 3D-печати для формирования консольных лопаток из карбида кремния, что позволяет освободить их от слабых напряжений в местах соединений, обеспечивая надежную несущую способность во время работы. Он также поддерживает полноразмерную настройку консольных лопастей из карбида кремния. Консольные лопатки могут быть точно подобраны по длине, конструкции и характеристикам интерфейса и доступны для идеального соответствия диаметрам печных труб, размерам вафельных лодочек, автоматизированным системам загрузки и конкретным технологическим требованиям.