Кремниевые карбидные лодки

Получики кремниевых карбидных лодок демонстрируют исключительную тепловую стабильность, что позволяет им противостоять экстремальным температурам, необходимым для процессов окисления и диффузии. Их превосходная устойчивость к тепловому шоку сводит к минимуму риск растрескивания или деформации, обеспечивая длительное долговечность работы. Композиция SIC высокой плотности обеспечивает превосходную механическую прочность, поддерживая структурную целостность даже при непрерывном термическом цикле. Это исключительное сопротивление механическому напряжению снижает вероятность загрязнения и поломки пластины, что способствует более высокой доходности процесса. Кроме того, лодки SIC обладают выдающейся химической устойчивостью, оставаясь инертными до агрессивных обработанных газов, используемых на этапах окисления и диффузии. Эта характеристика предотвращает нежелательные реакции, которые могут поставить под угрозу чистоту пластины и эффективность производства.

Кремниевые карбидные лодки в основном используются в печи с окислением и диффузией, где необходим точный контроль над воздействием высоких температур и реактивных газов. Они поддерживают пластины во время термического окисления для выращивания высококачественных слоев диоксида кремния и облегчают однородное легирование посредством контролируемого воздействия легированных газов. Кроме того, они обеспечивают стабильную платформу для отжига и других высокотемпературных процедур, которые требуют длительного воздействия тепла.

По сравнению с традиционными кварцами и графитными лодками, кремниевые карбидные лодки предлагают непревзойденную долговечность, долговечность и производительность. Их способность противостоять суровой тепловой и химической среде, в то же время минимизирующая загрязнение, делает их предпочтительным выбором для высокопроизводительного производства полупроводников. С акцентом на качество и инновации наши кремниевые карбидные лодки обеспечивают превосходную производительность, обеспечивая высокую доходность и эффективную обработку пластин для производителей полупроводников по всему миру. Будь то расширенные технологии узлов или устаревшее полупроводниковое изготовление, эти лодки обеспечивают надежное решение для удовлетворения строгих отраслевых требований.

(1) Перенос и защита: кремниевые карбидные лодки несут полупроводниковые материалы, такие как пластины, через свои внутренние кронштейны или слоты, и использует высокую температуру и коррозионную стойкость кремниевых карбидных материалов для защиты вафель от внешней среды.

(2) Единое нагревание: кремниевая карбидовая лодка позволяет равномерно нагревать пластины во время тепловой обработки. Это помогает гарантировать, что температура и скорость реакции каждой части пластины оставались согласованными во время процесса термообработки, тем самым повышая урожайность и качество пластины.

В настоящее время есть три основных типаКерамика из карбида кремнияМатериалы: спекание реакции, безжалостное спекание и перекристаллизация. В большинстве приложений реакция спеченного кремниевого карбида является более подходящим и экономически эффективным продуктом. Рекристаллизованные SIC-лодки обычно сначала спекают и обрабатывают несколько единичных деталей, а затем используйте Si Paste, чтобы объединить детали в лодку при высокой температуре, и, наконец, применить CVD-SIC Coter (около 100um). Поскольку рекристаллизация является пористой, если нет SIC Covert, она также введет частичности в процесс полупроводника. Этот тип рекристаллизованной лодки SIC с покрытием CVD-SIC имеет самый длинный производственный процесс и очень дорогой. По сравнению с графитовыми лодками с покрытием SIC, рекристаллизованные SIC-лодки CVD-SIC, покрытые SIC, не имеют проблемы с несоответствием CTE.