Держатель пластин SiC

Держатель пластин Semicorex SiC изготовлен из карбида кремния высокой чистоты, который обладает превосходной термической стабильностью, механической прочностью и химической стойкостью. Эти материалы выбраны так, чтобы минимизировать загрязнение, предотвратить повреждение пластин и выдерживать жесткие условия обработки полупроводников.

Во время термических процессов, таких как отжиг или диффузия, держатель пластины SiC играет решающую роль в поддержании равномерного распределения температуры по поверхности пластины. Его высокая теплопроводность обеспечивает эффективную теплопередачу, минимизируя температурные градиенты и обеспечивая стабильные результаты процесса.

Держатели пластин SiC часто проектируются для размещения пластин определенного размера: от нескольких дюймов до больших диаметров, в зависимости от применения. Они могут иметь несколько держателей, расположенных в кассете или держателе для облегчения пакетной обработки и увеличения пропускной способности.

Держатель пластин Semicorex SiC — это важнейший инструмент в производстве полупроводников, обеспечивающий безопасную и стабильную платформу для пластин карбида кремния на различных этапах обработки. Его конструкция и состав материала обеспечивают целостность пластины, способствуют равномерному распределению температуры и позволяют эффективно обращаться с пластинами и обрабатывать их.