Держатель подложки SiC

Держатель пластин Semicorex SiC изготовлен из карбида кремния высокой чистоты, который обладает отличной термической стабильностью, механической прочностью и химической стойкостью. Эти материалы выбраны так, чтобы свести к минимуму загрязнение, предотвратить повреждение пластин и выдержать сложные условия обработки полупроводников.

Во время термических процессов, таких как отжиг или диффузия, держатель пластин SiC играет решающую роль в поддержании равномерного распределения температуры по поверхности пластины. Его высокая теплопроводность обеспечивает эффективную теплопередачу, сводя к минимуму температурные градиенты и обеспечивая стабильные результаты процесса.

Держатели пластин SiC часто предназначены для размещения пластин определенного размера, от нескольких дюймов до большего диаметра, в зависимости от применения. Они могут иметь несколько держателей, расположенных в кассете или носителе, чтобы облегчить пакетную обработку и увеличить производительность.

Держатель пластин Semicorex SiC является важным инструментом в производстве полупроводников, обеспечивая надежную и стабильную платформу для пластин карбида кремния на различных этапах обработки. Его конструкция и состав материала обеспечивают целостность пластин, способствуют равномерному распределению температуры и обеспечивают эффективное обращение с пластинами и их обработку.