Карбидно-кремниевая пластина-кассета

Кассета полупроводниковых пластин Semicorex SiC, также известная как плиточная вафельная лодочка, была разработана специально для операций окисления, диффузии и отжига при температурах, превышающих 1200°C. Кассеты обеспечивают значительную механическую поддержку, а также выравнивание нескольких пластин одновременно во время использования высокотемпературной печи и демонстрируют высокую механическую стабильность и стабильность размеров во время термической нагрузки и после нее.  Спрос на сверхчистые и термически стабильные материалы для систем обработки пластин растет по мере уменьшения размеров полупроводниковых устройств и увеличения их производительности.

Кассета изготовлена ​​из высокочистогокарбид кремния, существуют также покрытия, которые можно наносить для получения еще большей пользы. Карбид кремния обладает превосходной стабильностью к термическому удару, коррозии и деформации размеров.  Карбид кремния обладает уникальной твердостью, химической инертностью и теплопроводностью, что делает его идеальным материалом для данной технологической среды. SiC по сравнению с альтернативами из кварца и оксида алюминия не ухудшит свои механические и химические свойства при высоких температурах обработки, тем самым снижая риск загрязнения и улучшая однородность процесса производства пластин.

Сверхвысокая чистота кассеты с пластинами SiC обеспечивает устойчивость к попаданию металлических или ионных загрязнений в технологическую камеру; то, что абсолютно необходимо для высокой чистоты, чтобы соответствовать технологическим требованиям передовых процессов производства полупроводников. За счет минимизации источников загрязнений кассеты из карбида кремния повысят выход пластин и надежность устройства.

Технология прецизионной обработки Semicorex позволяет изготавливать каждую кассету с жесткими допусками, одинаковым шагом пазов и параллельным выравниванием. Точная обработка материалов обеспечивает плавную загрузку и выгрузку пластин, что снижает вероятность появления царапин при обращении с пластинами. Точное расстояние между слотами обеспечивает равномерную температуру и поток воздуха по всем пластинам, что способствует однородности окисления и диффузии, одновременно уменьшая изменчивость процесса.

Карбид кремния обладает превосходной теплопроводностью, стабильностью размеров и обеспечивает надежную работу при повторяющихся термических циклах. Материал стабилен, не коробится и не трескается; его высокая жесткость сохраняет структурную целостность при высоких температурах в течение длительных периодов времени, значительно снижая механическое напряжение на пластинах и одновременно ограничивая вероятность образования нежелательных частиц при обращении с ними из-за трения или микровибрации.

Кроме того,Карбид кремнияИнертность по отношению к химическим веществам защищает пластины от реакции с технологическими газами (например, кислородом, водородом, аммиаком), обычно участвующими в процессе обработки. Кассеты пластин стабильны в окислительной и неокисляющей атмосфере и могут быть включены в рабочий процесс печи при выполнении ряда процессов, таких как окисление, диффузия, LPCVD и отжиг.

Для удовлетворения конкретных технологических требований компания Semicorex предлагает изготовленные по индивидуальному заказу кассеты с пластинами SiC различных размеров, количества слотов и конфигураций. Каждое изделие проходит строгий контроль качества и обработку поверхности, чтобы гарантировать гладкость, чистоту и точность размеров. Дополнительная полировка поверхности еще больше снижает образование частиц и повышает совместимость с автоматизированными системами обработки пластин.