Semicorex предлагает вафельные лодочки, пьедесталы и нестандартные держатели вафельных пластин как для вертикальных/столбчатых, так и для горизонтальных конфигураций. Мы являемся производителями и поставщиками пленок для покрытий из карбида кремния в течение многих лет. Наша SiC Wafer Boat имеет хорошее ценовое преимущество и охватывает большинство европейских и американских рынков. Мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Представляем нашу высококачественную лодочку SiC Wafer Boat, предназначенную для обеспечения надежного решения для обработки пластин в различных отраслях промышленности. Эти керамические пьедесталы изготавливаются с использованием керамики высокой чистоты, которая обеспечивает превосходную устойчивость к тепловому удару, истиранию и химической коррозии, что делает их идеальными для суровых условий обработки пластин.
Наши вафельные лодки SiC также легко настраиваются, и мы можем работать с вами над созданием нестандартных пьедесталов в соответствии с вашими уникальными спецификациями. Мы гордимся нашей способностью поставлять высококачественную и надежную продукцию, отвечающую требованиям наших клиентов. Наши керамические вафельные лодочки рассчитаны на длительный срок службы, гарантируя, что вы получите максимальную отдачу от своих инвестиций.
Закажите сейчас и ощутите преимущества нашей высококачественной лодочки SiC Wafer Boat в ваших операциях по обработке пластин.
Параметры SiC Wafer Boat
Технические характеристики |
||||
Индекс |
Единица |
Ценить |
||
Название материала |
Реакция спеченного карбида кремния |
Спеченный карбид кремния без давления |
Рекристаллизованный карбид кремния |
|
Состав |
РБСиК |
SSiC |
R-SiC |
|
Объемная плотность |
г/см3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2,60-2,70 |
Предел прочности при изгибе |
МПа (кфунт/кв. дюйм) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°С)90-100(1400°С) |
Прочность на сжатие |
МПа (кфунт/кв. дюйм) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
твердость |
Кнуп |
2700 |
2800 |
/ |
Нарушение упорства |
МПа м1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Теплопроводность |
Вт/м.к |
95 |
120 |
23 |
Коэффициент температурного расширения |
10-6.1/°С |
5 |
4 |
4.7 |
Удельная теплоемкость |
Джоуль/г 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Максимальная температура воздуха |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Модуль упругости |
ГПа |
360 |
410 |
240 |
Особенности SiC Wafer Boat
- Покрытия из карбида кремния CVD для увеличения срока службы.
- Теплоизоляция из высококачественного очищенного жесткого углерода.
- Обладают высокой теплопроводностью и отличными свойствами распределения тепла.
- Керамическое покрытие высокой чистоты и карбид кремния для защиты от проколов и увеличения срока службы