Компания Semicorex предлагает лодочки для пластин, пьедесталы и специальные держатели пластин как для вертикальной/колонной, так и для горизонтальной конфигурации. Мы уже много лет являемся производителем и поставщиком пленок для покрытия из карбида кремния. Наши вафельные лодки из карбида кремния имеют хорошее ценовое преимущество и охватывают большую часть рынков Европы и Америки. Мы с нетерпением ждем возможности стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Представляем нашу высококачественную лодочку для пластин SiC, разработанную для обеспечения надежного решения для обработки пластин в различных отраслях промышленности. Эти керамические подставки изготавливаются с использованием керамики высокой чистоты, которая обеспечивает превосходную устойчивость к тепловому удару, истиранию и химической коррозии, что делает их идеальными для суровых условий обработки пластин.
Наши вафельные лодки из карбида кремния также легко адаптируются под заказ, и мы можем работать с вами над созданием индивидуальных пьедесталов, соответствующих вашим уникальным спецификациям. Мы гордимся нашей способностью поставлять высококачественную и надежную продукцию, отвечающую требованиям наших клиентов. Наши керамические вафельные лодки рассчитаны на длительный срок службы, гарантируя, что вы получите максимальную отдачу от своих инвестиций.
Закажите сейчас и ощутите преимущества нашей высококачественной лодочки для вафель из карбида кремния в процессе обработки пластин.
Параметры вафельной лодки SiC
Технические свойства |
||||
Индекс |
Единица |
Ценить |
||
Название материала |
Реакционно-спеченный карбид кремния |
Спеченный карбид кремния без давления |
Рекристаллизованный карбид кремния |
|
Состав |
РБСиК |
ССиК |
R-SiC |
|
Объемная плотность |
г/см3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2,60-2,70 |
изгибная прочность |
МПа (кпси) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°С) 90-100(1400°С) |
Прочность на сжатие |
МПа (кпси) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
Твердость |
Кнопка |
2700 |
2800 |
/ |
Разрушение упорства |
МПа м1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Теплопроводность |
Вт/м.к |
95 |
120 |
23 |
Коэффициент теплового расширения |
10-6.1/°С |
5 |
4 |
4.7 |
Удельная теплоемкость |
Джоуль/г 0к |
0.8 |
0.67 |
/ |
Максимальная температура воздуха |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Модуль упругости |
средний балл |
360 |
410 |
240 |
Особенности вафельной лодки SiC
- Покрытия из карбида кремния CVD для увеличения срока службы.
- Теплоизоляция из высокоэффективного очищенного жесткого углерода.
- Имеют высокую теплопроводность и отличные свойства распределения тепла.
- Керамика высокой чистоты и покрытие SiC для устойчивости к точечным отверстиям и увеличения срока службы