Перевозчик вафельных лодок SiC

В быстро развивающемся мире производства полупроводников, в частности производства силовых устройств SiC и GaN для электромобилей, инфраструктуры 5G и возобновляемых источников энергии, надежность вашего оборудования для обработки пластин не подлежит обсуждению. Semicorex SiC Wafer Boat Carrier представляет собой вершину технологии материалов, разработанную для замены традиционных кварцевых и графитовых компонентов в высокотемпературных средах с высокой чистотой.

Почему карбид кремния является выбором отрасли

По мере того как полупроводниковые узлы уменьшаются, а размеры пластин приближаются к 200 мм (8 дюймов), термические и химические ограничения кварца становятся узким местом. Наш перевозчик SiC Wafer Boat Carrier спроектирован с использованиемСпеченный карбид кремнияили карбид кремния с CVD-покрытием, предлагающий уникальное сочетание теплопроводности, механической прочности и химической инертности.

1. Исключительная термическая стабильность.

Традиционные материалы часто страдают от «опадания» или деформации при воздействии экстремальных температур, необходимых для диффузии и отжига. Наш лодочный перевозчик SiC Wafer сохраняет структурную целостность при температурах, превышающих 1600°C. Такая высокая термическая стабильность гарантирует, что пазы пластин остаются идеально выровненными, предотвращая «дребезжание» или застревание пластин во время автоматического роботизированного переноса.

2. Высокая чистота и низкий уровень загрязнения.

В условиях чистого помещения частицы являются врагом производительности. Наши суда-перевозчики подвергаются запатентованному процессу нанесения покрытия CVD (химическое осаждение из паровой фазы). Это создает плотную, непористую поверхность, которая действует как барьер против выделения примесей. Благодаря сверхнизкому уровню металлических примесей наши носители гарантируют, что ваши пластины — кремниевые или карбид кремния — останутся свободными от перекрестного загрязнения во время критических циклов высокой температуры.

3. Согласованный КТР (коэффициент теплового расширения)

Одной из основных причин напряжения на пластине и линий скольжения является несоответствие теплового расширения носителя и пластины. Наши лодки SiC спроектированы с КТР, который максимально соответствует пластинам SiC. Такая синхронизация сводит к минимуму механическое напряжение во время фаз быстрого нагрева и охлаждения (RTP), значительно повышая общий выход штампа.

Основные технические характеристики

Приложения в расширенном производстве

Наши SiC Wafer Boat Carrier оптимизированы для самых требовательных процессов «горячей зоны» на производстве:

• LPCVD и PECVD: высокая устойчивость к химическим веществам-прекурсорам предотвращает разрушение лодочки, обеспечивая постоянный срок службы технологического комплекта.
• Высокотемпературное окисление: в отличие от кварца, SiC не расстекловывается, сохраняя свою прочность в течение тысяч циклов.
• Диффузия и отжиг: превосходная термическая однородность по всей лодке гарантирует, что каждая пластина в партии имеет одинаковый температурный профиль.
• Эпитаксия SiC: специально разработана для работы в суровых условиях, необходимых для выращивания эпитаксиальных слоев на подложках SiC.

Долговечность и экономичность

Хотя первоначальные инвестиции в оборудование SiC выше, чем в кварц, общая стоимость владения (TCO) значительно ниже. Наши переноски рассчитаны на долговечность, зачастую в 5–10 раз дольше, чем традиционные материалы. Это снижает частоту простоев инструмента для замены деталей и сводит к минимуму риск катастрофического выхода из строя лодки, который может испортить всю партию дорогостоящих пластин.

Доверьте свой процесс проверенным инженерам

Мы понимаем, что в полупроводниковой промышленности «достаточно хорошо» никогда не бывает достаточно. Наш производственный процесс включает 100% контроль размеров ШМ и ультразвуковую очистку высокой чистоты перед вакуумной упаковкой.

Независимо от того, расширяете ли вы линию силовых устройств SiC диаметром 200 мм или оптимизируете устаревший процесс диаметром 150 мм, наша команда инженеров готова настроить шаг пазов, длину лодочки и конфигурации рукояток в соответствии с вашими конкретными требованиями печи.