SIC Tubes

Semicorex SIC -трубки (SIC Furnace Tribes) представляют собой премиальные компоненты, широко используемые в полупроводниковой промышленности из -за их идеальной тепловой стабильности, механической прочности и экстремальной устойчивости к агрессивным химическим веществам в диапазоне применения. Semicorex SIC-труб были разработаны, чтобы пережить самые суровые условия, связанные с высокотемпературной обработкой. Пробирки SIC явно являются предпочтительным и превосходным материалом для диффузионных печей, систем LPCVD/PECVD и в средах, используемых для эпитаксиального роста, в которых загрязнение материала и тепловые дифференциалы являются ключевыми соображениями.

Semicorex SIC-трубки изготавливаются из сверхвысокой чистоты SIC порошков, использующих передовые методологии спекания и методы управления процессами, которые сохраняют чистоту SIC. Результатом является то, что SIC -трубки имеют оптимальную теплопроводность, низкие характеристики термического расширения и имеют вес, распределяемый по длине трубки, эффективно минимизируя тепловое напряжение, даже при воздействии быстрого теплового цикла. Таким образом, использование SIC-труб обеспечивает высокое уважение в течение непрерывных высокотемпературных процессов (до 1600 ° C), что обеспечивает однородность в процессах производства полупроводников, повышая общую эффективность в согласованных масштабах.

Основное преимущество SIC заключается в том, что он химически инертный. SIC практически не пористую (соблюдает оценку ASTM-G654 GP-4) и непреодолимо, когда речь идет о коррозионных газах и реактивных химических веществах, используемых в развитии полупроводника, включая HCL, NH₃, SIH₄ и т. Д. Также отмечается, что кварцевые труб стабильность и увеличение времени обслуживания при минимизации пропускной способности, связанных с изменениями трубки и замены. Ключевые преимущества для производства полупроводников ясны; Использование SIC -труб может снизить общую стоимость владения дистанцией до начала долю на несколько недель или даже месяцев при сохранении надежности, поскольку это связано с промышленными процессами.

SEMICOREX SIC -труб поставляются в разных диаметрах, длине и пользовательских спецификациях для размещения различных конструкций печи и требований к обработке. Внутренние поверхности могут быть отполированы, что улучшает чистоту, уменьшает генерацию частиц и является важной детализацией в ультрачистых полупроводниковых пространствах. Использование трубок Semicorex SIC может помочь снизить риск загрязнения и способствовать увеличению доходности пластин с жесткими допускими и улучшенными качеством поверхности.

Semicorex SIC Expertise включает в себя многолетнюю обработку карбида кремния с акцентом на точный инженер и контроль качества, чтобы соответствовать строгим и требовательным стандартам качества полупроводниковой промышленности. Наши трубки протестированы и проверены с помощью проверок, которые имеют решающее значение для обеспечения чистоты, плотности и выполнения в наиболее экстремальных тепловых средах. Semicorex также предоставляет техническую поддержку и пользовательские варианты проектирования, чтобы помочь с оптимизацией системы печи для конкретных приложений.

Будь то производственные логические чипы, силовые устройства или оптоэлектроника, Semicorex SIC -труб представляют надежный, долговечный вариант для высокотемпературной обработки. Выбирая Semicorex, вы не только обеспечиваете эффективность, но и более долгосрочный стабильный, эффективный процесс для полупроводникового изготовления.