SIC Robot Hands

Руки Semicorex SIC Robot являются последними в конечных эффектах, предназначенных для приложений для передачи робототехники в области производства полупроводников. Изготовленные из высокопроизводительных материалов, мы спроектировали эти роботизированные руки кремниевой карбидом (SIC) керамикой, чтобы обеспечить максимальную термическую табуляцию, химическую стабильность и механическую прочность для все более жесткой среды изготовления пластин или обработки.

Центральное место в наших роботах SIC - наша проприетарная продвижениеСиликоновый карбидизвестный своей высокой твердостью (МОС 9), высокой теплопроводности и коррозионной стойкостью. В отличие от традиционных материалов, таких как алюминиевая или нержавеющая сталь, SIC совместим с резкой обработкой среды полупроводников, включая обработанные высокие температуры и реактивные газы. Мы предлагаем долгосрочную долговечность и минимизируем загрязнение, что согласуется со строгой чистотой, необходимой для производства пластин.

Полупроводниковое оборудование с руками Robot SIC использует отрицательное всасывание давления для получения пластины, то есть полупроводниковая пластина адсорбируется на кварцевом или керамическом пальце с использованием принципа всасывающей чашки, сопровождаемого транспортом, с использованием механического действия, расширяя, вращающиеся и поднимающие движения соответственно.

«Высокая скорость» и «чистота» являются основными характеристиками оборудования для обработки полупроводниковых пластин. Чтобы соответствовать этим характеристикам, оборудование имеет чрезвычайно строгие требования к производительности используемых компонентов. Поскольку большинство процессов проводится в вакууме, высокой температуре и коррозионной газовой среде, рука управляемости, используемое в оборудовании, должна обладать отличными физическими свойствами, такими как: высокая механическая прочность, коррозионная стойкость, высокотемпературная стойкость, устойчивость к износу, высокая твердость, изоляция и т. Д., А усовершенствованные керамические материалы могут просто соответствовать этим условиям.

Керамика из карбида кремнияобладать физическими свойствами плотной текстуры, высокой твердости, высокой устойчивости к износу, а также хорошей теплостойкости, превосходной механической прочности, хорошей изоляции в среде высокой температуры, хорошей коррозионной стойкости и других физических свойств. Это отличный материал для создания полупроводникового оборудования.

Признавая, что роботизированные платформы варьируются в зависимости от FABS и производителей инструментов, наши руки SIC Robot доступны в ряде стандартизированных размеров и могут быть настроены для уникальных конфигураций инструментов. Монтажные интерфейсы, геометрия пальцев и функции поддержки пластин могут быть адаптированы для удовлетворения конкретных потребностей оборудования и процессов. Независимо от того, передаете ли вы пластины в кластерных инструментах, вакуумных камерах или системах Foup, наши руки робота легко интегрируются с ведущими брендами робототехники.

Каждая рука робота SIC подвергается строгим процедурам очистки, проверки и упаковки, чтобы обеспечить соответствие стандартам чистой комнаты класса 1. Непористая антистатическая поверхность SIC уменьшает адгезию частиц, в то время как надежная структура противостоит микрограктам, которые могут привести к генерации частиц с течением времени. Это делает их идеальными для передних пластин, где даже малейшее загрязнение может привести к сбое устройства.

От эпитаксии и ионной имплантации до PVD, сердечно -сосудистых заболеваний и CMP, руки робота SIC доверяют на каждом этапе изготовления полупроводниковых устройств. Их превосходное сопротивление термическому шоку и плазменному среде делает их незаменимыми в расширенной логике и линии полупроводниковых линий, особенно там, где используются субстраты SIC пластин.