Технологическая трубка SiC

Технологическая трубка Semicorex SiC (карбид кремния) — это специализированный компонент, используемый в процессах термообработки пластин, особенно в приложениях, требующих высоких температур, агрессивных сред или того и другого. Он предназначен для обеспечения защитной и контролируемой среды для полупроводниковых пластин во время термообработки или термической обработки.

Технологическая трубка тщательно спроектирована таким образом, чтобы создать герметичную камеру, в которую помещаются пластины для термообработки. Он действует как барьер, предотвращающий прямой контакт пластин с окружающей средой. Эта изоляция имеет решающее значение для поддержания чистоты технологической атмосферы и защиты пластин от загрязнения.

Внутри технологической трубы SiC происходит термообработка пластины. Это может включать в себя различные процессы, такие как отжиг, окисление, диффузия и другие термические обработки, необходимые для изменения свойств материала пластины. Свойства трубки, такие как высокая теплопроводность и стойкость к химическому воздействию, помогают обеспечить равномерное распределение температуры и защиту пластин.

Технологические трубы из карбида кремния являются важнейшими компонентами процессов термообработки пластин. Их жаростойкость, химическая инертность и способность создавать контролируемую среду обеспечивают успешное выполнение этапов термической обработки, что приводит к производству высококачественных полупроводниковых пластин.